大连耐视科技有限公司潘坤获国家专利权
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龙图腾网获悉大连耐视科技有限公司申请的专利一种花篮内硅片缺陷检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223841805U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520144179.1,技术领域涉及:G01N21/95;该实用新型一种花篮内硅片缺陷检测装置是由潘坤;郭右利设计研发完成,并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种花篮内硅片缺陷检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及硅片缺陷检测技术领域,提供一种花篮内硅片缺陷检测装置,包括:检测工作台、支撑框架、抓手X向移动模组、抓手Y向移动模组、抓手Z向移动模组、机械抓手、相机X向移动模组和多个相机;所述支撑框架架设在检测工作台的输入端;所述支撑框架的横梁上布置抓手X向移动模组和相机X向移动模组;所述抓手X向移动模组上可滑动设置抓手Y向移动模组;所述抓手Y向移动模组上可滑动设置抓手Z向移动模组;所述抓手Z向移动模组上可滑动设置机械抓手;所述相机X向移动模组上可移动设置多个相机。本实用新型能够实现自动图像采集、自动抓取异常花篮、自动下料,提高检测效率和产能。
本实用新型一种花篮内硅片缺陷检测装置在权利要求书中公布了:1.一种花篮内硅片缺陷检测装置,其特征在于,包括:检测工作台15、支撑框架3、抓手X向移动模组4、抓手Y向移动模组5、抓手Z向移动模组6、机械抓手8、相机X向移动模组7和多个相机9; 所述支撑框架3架设在检测工作台15的输入端; 所述支撑框架3的横梁上布置抓手X向移动模组4和相机X向移动模组7; 所述抓手X向移动模组4上可滑动设置抓手Y向移动模组5;所述抓手Y向移动模组5上可滑动设置抓手Z向移动模组6;所述抓手Z向移动模组6上可滑动设置机械抓手8; 所述相机X向移动模组7上可移动设置多个相机9。
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