安徽精石技术有限公司王兴波获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽精石技术有限公司申请的专利一种光掩膜基板性能测试装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223841790U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520010724.8，技术领域涉及：G01N21/88；该实用新型一种光掩膜基板性能测试装置是由王兴波;杨云;巩玉朋;刘运华设计研发完成，并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光掩膜基板性能测试装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种光掩膜基板性能测试装置。该装置包括黑色底板、照明机构和悬持机构。照明机构包括支撑架和测试灯；支撑架安装在黑色底板的侧壁，测试灯安装在支撑架的顶部，测试灯的出光处面向黑色底板。悬持机构包括直线滑台模组、正反电机、固定夹板和活动夹板；直线滑台模组安装在支撑架的纵向支撑部位处；正反电机安装在直线滑台模组的活动端；活动夹板活动设置在固定夹板内，二者位于测试灯和黑色底板的纵向间隙内；正反电机的输出轴与固定夹板连接，用以驱动固定夹板和活动夹板纵向转动。本实用新型通过悬持机构将光掩膜基板悬于黑色底板和照明机构之间，进行位置和角度调整，易于观察基板表面的瑕疵或异物，提高测试精准度和效率。
本实用新型一种光掩膜基板性能测试装置在权利要求书中公布了：1.一种光掩膜基板性能测试装置，其用于对光掩膜基板进行悬空测试，其特征在于，其包括： 黑色底板1； 照明机构2，其包括支撑架21和测试灯22；支撑架21安装在黑色底板1的侧壁，测试灯22安装在支撑架21的顶部，测试灯22的出光处面向黑色底板1； 悬持机构3，其包括直线滑台模组31、正反电机32、固定夹板33和活动夹板34；直线滑台模组31安装在支撑架21的纵向支撑部位处；正反电机32安装在直线滑台模组31的活动端；活动夹板34活动设置在固定夹板33内，二者位于测试灯22和黑色底板1的纵向间隙内，用以夹持光掩膜基板；正反电机32的输出轴与固定夹板33连接，用以驱动固定夹板33和活动夹板34纵向转动。
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