浙江创芯集成电路有限公司张俊铠获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利半导体供液装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223841243U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520425738.6，技术领域涉及：G01F1/58；该实用新型半导体供液装置及半导体设备是由张俊铠;李彤映设计研发完成，并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体供液装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种半导体供液装置及半导体设备，半导体供液装置包括：第一供液组件，包括：第一管道，以及设置于第一管道上的第一开关和第一流量计，第一流量计用于检测第一管道内流动介质的第一流量值；第二供液组件，包括：第二管道，以及设置于第二管道上的第二流量计，第二流量计用于检测第二管道内流动介质的第二流量值；检测组件，用于接收第一流量值和第二流量值，并生成用于表征第一流量值和第二流量值之间的流量差值的指示信号；其中，第二管道与第一管道连接，且连接位置在第一管道中位于第一流量计的上游，第一开关在第一管道中位于该连接位置的上游。采用上述技术方案，能够提高流量计的检测精度，进而提高供液稳定性。
本实用新型半导体供液装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体供液装置，其特征在于，包括： 第一供液组件，所述第一供液组件包括：第一管道，以及设置于所述第一管道上的第一开关和第一流量计，所述第一流量计用于检测所述第一管道内流动介质的第一流量值； 第二供液组件，所述第二供液组件包括：第二管道，以及设置于所述第二管道上的第二流量计，所述第二流量计用于检测所述第二管道内流动介质的第二流量值； 检测组件，分别与所述第一流量计和所述第二流量计电连接，用于接收所述第一流量值和所述第二流量值，并生成用于表征所述第一流量值和所述第二流量值之间的流量差值的指示信号； 其中，所述第二管道与所述第一管道连接，且连接位置在所述第一管道中位于所述第一流量计的上游，所述第一开关在所述第一管道中位于该连接位置的上游。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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