上海朴席自动化工程有限责任公司蒋洪恩获国家专利权
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龙图腾网获悉上海朴席自动化工程有限责任公司申请的专利一种硅晶棒尺寸测量机装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223841136U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520063534.2,技术领域涉及:G01B11/02;该实用新型一种硅晶棒尺寸测量机装置是由蒋洪恩;曾子文;杨长领;熊峰;王佳辉设计研发完成,并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅晶棒尺寸测量机装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种硅晶棒尺寸测量机装置,该装置包括承载模块、晶棒支撑模块和测量模块,承载模块上安装晶棒支撑模块和测量模块,承载模块包括机架,晶棒支撑模块包括晶棒平台和校准工装,机架上端面一侧中部设置有晶棒平台,机架上端面另一侧中部设置有校准工装,所述测量模块包括激光测距仪和检测机构,晶棒平台后侧设置有激光测距仪支架,检测机构包括直线导轨和检测罩壳,直线导轨分别设置在晶棒平台前后两侧,检测罩壳两端分别在直线导轨上滑动,检测罩壳上设置有多个气缸和检测传感器。本实用新型通过检测机构的设置测量晶棒的高度以及宽度尺寸,校准工装的设置便于检测机构的校准,提高晶棒尺寸测量的准确性。
本实用新型一种硅晶棒尺寸测量机装置在权利要求书中公布了:1.一种硅晶棒尺寸测量机装置,其特征在于,该装置包括承载模块、晶棒支撑模块和测量模块,所述承载模块上安装晶棒支撑模块和测量模块,所述承载模块包括机架,所述晶棒支撑模块包括晶棒平台和校准工装,所述机架上端面一侧中部设置有晶棒平台,所述机架上端面另一侧中部设置有校准工装,所述测量模块包括激光测距仪和检测机构,所述晶棒平台后侧设置有激光测距仪支架,激光测距仪支架上分别设置有激光测距仪,所述检测机构包括直线导轨和检测罩壳,所述直线导轨分别设置在晶棒平台前后两侧,所述检测罩壳两端分别在直线导轨上滑动,所述检测罩壳上设置有多个气缸和检测传感器。
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