拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司沙俊汀获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利一种内置式阀板结构的晶圆传输机构及其薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223839778U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520678993.1，技术领域涉及：F16K3/314；该实用新型一种内置式阀板结构的晶圆传输机构及其薄膜沉积设备是由沙俊汀;李慧;高生设计研发完成，并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种内置式阀板结构的晶圆传输机构及其薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种内置式阀板结构的晶圆传输机构，其包括：传输腔体和插板阀；所述传输腔体具有缓存晶圆的存储腔，所述传输腔体上设有传输口，所述传输口连通于所述存储腔，所述插板阀包括：驱动器以及受控于所述驱动器伸缩动作的阀板，所述驱动器连接于所述传输腔体，所述阀板穿过所述传输腔体且抵接于所述传输口的内侧面，以致所述驱动器可带动所述阀板实现所述传输口的开启或关闭。其通过将阀板内置于传输腔体内，提高了阀体的强度，将驱动器设置于传输腔体的底部，便于拆装维修，并对应在阀板上方的传输腔体上设置盖板孔辅助维修，检修时无需整体拆装，仅需从内侧取出对接头及密封环，大大降低了维护成本，提高了生产效率。
本实用新型一种内置式阀板结构的晶圆传输机构及其薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种内置式阀板结构的晶圆传输机构，其特征在于，包括：传输腔体和插板阀；所述传输腔体具有缓存晶圆的存储腔，所述传输腔体上设有传输口，所述传输口连通于所述存储腔，所述插板阀包括：驱动器以及受控于所述驱动器伸缩动作的阀板，所述驱动器连接于所述传输腔体，所述阀板穿过所述传输腔体且抵接于所述传输口的内侧面，以致所述驱动器可带动所述阀板实现对所述传输口的开启或关闭。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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