捷捷微电(南通)科技有限公司徐晓俊获国家专利权
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龙图腾网获悉捷捷微电(南通)科技有限公司申请的专利一种负压产生装置与半导体加工系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223839282U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520477144.X，技术领域涉及：F04B37/10；该实用新型一种负压产生装置与半导体加工系统是由徐晓俊;高建军;陆钦云;胡跃跃设计研发完成，并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种负压产生装置与半导体加工系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种负压产生装置与半导体加工系统，涉及半导体加工技术领域。该负压产生装置包括主管道、支路管道、第一集尘机构以及负压泵，主管道竖直设置，且第一集尘机构位于主管道的最下方，并与主管道可拆卸连接，主管道的上方用于与加工设备连通；支路管道的一端与主管道连通，另一端与负压泵连通；支路管道与第一集尘机构之间间隔设置，且支路管道与主管道之间的角度大于0度，以使支路管道的另一端与主管道在水平面上的投影无交叠。本申请提供的负压产生装置与半导体加工系统能够起到防止负压泵被大颗粒生成物卡死的效果。
本实用新型一种负压产生装置与半导体加工系统在权利要求书中公布了：1.一种负压产生装置，其特征在于，所述负压产生装置包括主管道、支路管道、第一集尘机构以及负压泵，所述主管道竖直设置，且所述第一集尘机构位于所述主管道的最下方，并与所述主管道可拆卸连接，所述主管道的上方用于与加工设备连通； 所述支路管道的一端与所述主管道连通，另一端与所述负压泵连通；所述支路管道与所述第一集尘机构之间间隔设置，且所述支路管道与所述主管道之间的角度大于0度，以使所述支路管道的另一端与所述主管道在水平面上的投影无交叠。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人捷捷微电(南通)科技有限公司，其通讯地址为：226000 江苏省南通市崇川区苏锡通科技产业园区井冈山路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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