淮北翌光科技有限公司吕宇航获国家专利权
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龙图腾网获悉淮北翌光科技有限公司申请的专利一种基板清洁单元及刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223837571U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520145496.5，技术领域涉及：C23F1/08；该实用新型一种基板清洁单元及刻蚀设备是由吕宇航;陈旭;胡永岚设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基板清洁单元及刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种基板清洁单元及刻蚀设备，属于刻蚀技术领域，该基板清洁单元包括：清洁腔室；抽气装置，设于清洁腔室内，抽气装置的抽气方向为自下而上，且抽气装置被配置为向远离基板的方向抽气；以及气帘，设于清洁腔室内，气帘的吹气方向为自上而下，且气帘被配置为向靠近基板的方向吹气。在基板清洁单元中，清洁腔室用于形成操作空间和安装空间，抽气装置能够将从刻蚀单元出来的基板所伴随的酸气抽离至清洁腔室外，减少酸气接触腐蚀基板，气帘能够将从刻蚀单元出来的基板所形成的表面药液膜吹薄或吹离基板，以使基板在进入水洗单元时能够清洗地更彻底，减少酸性药液的残留，减少基板表面Mura问题，提高产品质量。
本实用新型一种基板清洁单元及刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种基板清洁单元，其特征在于，包括： 清洁腔室10； 抽气装置20，设于所述清洁腔室10内，所述抽气装置20的抽气方向为自下而上，且所述抽气装置20被配置为向远离基板的方向抽气；以及 气帘30，设于所述清洁腔室10内，所述气帘30的吹气方向为自上而下，且所述气帘30被配置为向靠近基板的方向吹气； 其中，自下而上的抽气方向定义为至少包括竖直向上的方向分量，自上而下的吹气方向定义为至少包括竖直向下的方向分量。
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