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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种实时监控加热器温度均匀性的系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223837561U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422557520.4，技术领域涉及：C23C16/46；该实用新型一种实时监控加热器温度均匀性的系统是由杨晓亮;公茂江;杜罡设计研发完成，并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种实时监控加热器温度均匀性的系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种实时监控加热器温度均匀性的系统。本申请结构原理简单，设计了多个温度传感器，1个温度传感器设置在所述圆形加热器的圆心处，以所述圆心为原点设置直角坐标系，若干个温度传感器分别设置在X轴的正半轴、X轴的负半轴、Y轴的正半轴以及Y轴的负半轴上，若干个温度传感器分别设置在第一象限、第二象限、第三象限以及第四象限内。通过信号传输设备传输温度传感器实时测量到的点位的温度，并且对各点的温度数据经过处理后可以直接在显示器上显示温度最大值、温度最小值、温度平均值，温度均匀性。可以实时的在显示器上监测到加热器表面各个点位的温度，以及温度最大值、温度最小值、温度平均值，温度均匀性。

本实用新型一种实时监控加热器温度均匀性的系统在权利要求书中公布了：1.一种实时监控加热器温度均匀性的系统，用于实时监控化学气相沉积腔体中加热器表面各点的温度是否均匀，其特征在于，包括： 圆形加热器，所述圆形加热器设置在化学气相沉积腔体中，用于加热化学气相沉积腔体到所需温度，并且在整个反应过程中维持稳定的温度； 温度传感器，用于实时监控所在点位的温度；所述温度传感器数量为多个，其中1个温度传感器设置在所述圆形加热器的圆心处；以所述圆心为原点设置直角坐标系，其中若干个温度传感器分别设置在X轴的正半轴、X轴的负半轴、Y轴的正半轴以及Y轴的负半轴上；其中若干个温度传感器分别设置在第一象限、第二象限、第三象限以及第四象限内； 信号传输设备，用于传输所述温度传感器实时测量所在点位的温度； 显示器，用于接收并显示所述温度传感器测量所得的点位的温度，并且经过处理后显示温度最大值、温度最小值、温度平均值以及温度均匀性； 所述分别设置在X轴的正半轴、X轴的负半轴、Y轴的正半轴以及Y轴的负半轴上的若干个温度传感器中的4个温度传感器与所述圆心的距离均为圆形加热器半径的12； 所述分别设置在第一象限、第二象限、第三象限以及第四象限内的若干个温度传感器中的4个温度传感器与所述圆心的距离为圆形加热器半径的34； 所述温度传感器嵌入所述圆形加热器的内部表面2mm，占所述圆形加热器表面厚度的4％。

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