江苏微导纳米科技股份有限公司王国睿获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利气流可调式喷淋板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223837556U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423320904.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型气流可调式喷淋板是由王国睿;安超设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本气流可调式喷淋板在说明书摘要公布了：本实用新型的实施例提供了一种气流可调式喷淋板，涉及半导体加工技术领域。本实用新型提供的气流可调式喷淋板包括喷淋板本体与堵头，喷淋板本体上开设有间隔分布的多个喷淋孔，堵头可拆卸设置于喷淋板本体上并与至少一个喷淋孔插接，以用于封堵喷淋孔，便于调节通过喷淋板本体的气体流量分布。本实用新型具有提升LPCVD加工工艺中基片上膜的均匀性的效果。
本实用新型气流可调式喷淋板在权利要求书中公布了：1.一种气流可调式喷淋板，其特征在于，包括： 喷淋板本体，所述喷淋板本体上开设有间隔分布的多个喷淋孔； 堵头，可拆卸设置于所述喷淋板本体上并与至少一个所述喷淋孔插接，以用于封堵所述喷淋孔； 所述堵头具有第一面、第二面与封堵部，所述第一面上设置有第一预设数量的所述封堵部，以用于与第一预设数量的所述喷淋孔插接；所述第二面上设置有第二预设数量的所述封堵部，以用于与第二预设数量的所述喷淋孔插接，其中，第二预设数量大于第一预设数量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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