南京工程学院邹俊樟获国家专利权
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龙图腾网获悉南京工程学院申请的专利一种用于原子层沉积反应腔体的视觉监测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223837555U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422936357.2，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种用于原子层沉积反应腔体的视觉监测装置是由邹俊樟;顾言辉;黄亚洲;陈玉蒙;赵宇;董露露设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于原子层沉积反应腔体的视觉监测装置在说明书摘要公布了：本实用新型实施例公开了一种用于原子层沉积反应腔体的视觉监测装置，涉及原子层沉积技术领域。可以在目前已有的原子层沉积反应装置的基础上简单改造即可实现观察反应的功能，从而对原子层沉积反应的反应过程实现实时监控。该装置的结构足够简单易用，实现成本低，改造难度也低。
本实用新型一种用于原子层沉积反应腔体的视觉监测装置在权利要求书中公布了：1.一种用于原子层沉积反应腔体的视觉监测装置，其特征在于，所述原子层沉积反应腔体的组成部件包括：反应腔体8和包裹反应腔体8的加热装置9；所述视觉监测装置包括：运动进给模块和视觉监测模块； 所述运动进给模块，包括：X轴部件1、Y轴部件2和Z轴支撑平台3，其中X轴部件1设置于Z轴支撑平台3上，并通过刚性连接技术实现精确的移动控制；X轴部件1由底座和立柱组成，其中，所述立柱垂直于所述底座，Y轴部件2安装在所述立柱上； Z轴支撑平台3安装在导轨上，以便于Z轴支撑平台3沿着导轨方向平移； 所述视觉监测模块，包括：摄像探头4和显示屏5，Y轴部件2在水平方向延伸出悬臂，摄像探头4安装在Y轴部件2的悬臂上，摄像探头4的拍摄方向朝向反应腔体8； 摄像探头4通过数据线于显示屏5连接。
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