江苏高光半导体材料有限公司蔡则凡获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏高光半导体材料有限公司申请的专利镀膜治具及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223837550U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520382629.0，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型镀膜治具及镀膜设备是由蔡则凡;张蔡星;钱超;甘帅燕设计研发完成，并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜治具及镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种镀膜治具及镀膜设备。其中的镀膜治具包括：基板载具，其中部为中空区，环绕中空区边缘设置有多个托爪，托爪具有延伸到中空区内的承托部，承托部具有支撑面；以及压紧机构，其包括压件，压件具有延伸向托爪的支撑面的压部，多个压紧机构环绕中空区的边缘布置，且与托爪一一对应；以及弹簧顶针，至少一个弹簧顶针设置在基板载具中，且沿着从基板载具边缘向中空区的方向延伸至中空区内。镀膜设备包括所述的镀膜治具。采用本申请的镀膜治具对基板进行镀膜，能够减少产品缺陷的发生，尤其能够减少阴影缺陷的产生和抑制阴影缺陷的扩大，大幅度提升产品良率，降低生产成本。
本实用新型镀膜治具及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种镀膜治具，其特征在于，包括： 基板载具，其中部为中空区，环绕中空区边缘设置有多个托爪，托爪具有延伸到中空区内的承托部，承托部具有支撑面；以及 压紧机构，其包括压件，压件具有延伸向托爪的支撑面的压部， 多个压紧机构环绕中空区的边缘布置，且与托爪一一对应；以及 弹簧顶针，至少一个弹簧顶针设置在基板载具中，且沿着从基板载具边缘向中空区的方向延伸至中空区内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏高光半导体材料有限公司，其通讯地址为：212400 江苏省镇江市句容市经济开发区阳山路19号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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