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无锡量子感知研究所;无锡格微仪器有限公司范斌获国家专利权

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龙图腾网获悉无锡量子感知研究所;无锡格微仪器有限公司申请的专利一种带有可调旋转样品架的离子溅射仪获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223837548U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423310364.8,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种带有可调旋转样品架的离子溅射仪是由范斌设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种带有可调旋转样品架的离子溅射仪在说明书摘要公布了:本实用新型涉及离子溅射仪技术领域,公开了一种带有可调旋转样品架的离子溅射仪,包括离子溅射仪主体,所述离子溅射仪主体的顶部固定连接有固定底座,所述固定底座的顶部固定连接有保护罩,所述离子溅射仪主体的左端安装有连接管,所述固定底座的上端设置有固定板,所述的固定板的底部固定连接有溅射喷头,所述保护罩的内部设置有转动组件,所述转动组件的上端设置有固定组件,所述转动组件包括电机。本实用新型通过电机带动传动杆进行转动,使得样品架进行转动,对样品不同位置进行溅射,启动电动推杆,电动推杆的输出端推动第二连接板移动,使得样品架的角度倾斜,对样品不同角度溅射,从而提高了样品的溅射效果。

本实用新型一种带有可调旋转样品架的离子溅射仪在权利要求书中公布了:1.一种带有可调旋转样品架的离子溅射仪,其特征在于,包括离子溅射仪主体1,所述离子溅射仪主体1的顶部固定连接有固定底座2,所述固定底座2的顶部固定连接有保护罩3,所述离子溅射仪主体1的左端安装有连接管4,所述固定底座2的上端设置有固定板5,所述的固定板5的底部固定连接有溅射喷头6,所述保护罩3的内部设置有转动组件7,所述转动组件7的上端设置有固定组件8; 所述转动组件7包括电机701,所述电机701的输出端固定连接有传动杆702,所述传动杆702的顶部固定连接有第一连接板703,所述第一连接板703的顶部铰接有样品架704,所述传动杆702的表面固定连接有延伸板705,所述延伸板705的顶部固定连接有电动推杆706,所述电动推杆706的输出端固定连接有第二连接板707,所述样品架704的上表面开设有安装槽708。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡量子感知研究所;无锡格微仪器有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市惠山区城铁惠山站区站前路;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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