营口金辰机械股份有限公司安洋获国家专利权
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龙图腾网获悉营口金辰机械股份有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223837547U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520435255.4，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射镀膜设备是由安洋;杨宝海;范慧斌;陶科;闫宝杰;李义升设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种磁控溅射镀膜设备，其包括真空腔室以及内部配置的抽气装置，该抽气装置包括冷凝盘管以及抽气盒；所述真空腔室的内壁设有至少一个第一抽气口和至少两个第二抽气口，所述第一抽气口和第二抽气口分别连通外部的抽气管道；所述冷凝盘管位于所述真空腔室的内腔，且所述冷凝盘管的两端穿过真空腔室并延伸连接外部的冷阱装置；所述抽气盒安装于冷凝盘管后侧的真空腔室内壁，且每个抽气盒的内腔连通至少一个所述第二抽气口；该装置通过冷凝盘管将水蒸气抽取到冷凝盘管周围冷凝成冰，并利用冷凝盘管后侧均匀分布的抽气盒对冷凝盘管在除霜阶段由冰变成的水蒸气及时捕捉并抽取，实现了水蒸气的捕捉、抽取和排出，达到防止水蒸气扩散的目的。
本实用新型一种磁控溅射镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜设备，其特征在于，包括真空腔室1以及配置于至少一个真空腔室1内的抽气装置； 所述抽气装置包括至少一条内置冷媒的冷凝盘管2和至少两个沿冷凝盘管2的冷媒流向分布的抽气盒4； 所述真空腔室1的内壁101设有至少一个第一抽气口102和至少两个第二抽气口103，所述第一抽气口102和第二抽气口103分别连通外部的抽气管道，经所述第一抽气口102和第二抽气口103抽取真空腔室1的水蒸气； 所述冷凝盘管2位于所述真空腔室1的内腔，且所述冷凝盘管2的两端穿过真空腔室1并延伸连接外部的冷阱装置； 所述抽气盒4安装于冷凝盘管2后侧的真空腔室1内壁，且每个抽气盒4的内腔连通至少一个所述第二抽气口103；所述抽气盒4表面均匀分布有至少一个通气孔402，所述通气孔402连通所述抽气盒4的内腔404。
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