东莞市美尚美电子科技有限公司陈昇获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市美尚美电子科技有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜工艺气体供气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223837546U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520324761.6，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射镀膜工艺气体供气装置是由陈昇;王鑫宇设计研发完成，并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射镀膜工艺气体供气装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜工艺气体供气装置，包括柜体，所述柜体的上表面固定安装有供气组件，所述柜体的上表面固定连接有支撑架板，所述支撑架板的底面固定连接有气体泄露检测器，所述柜体的上表面设置有开口，所述柜体的内壁固定连接有隔板。本实用新型能够通过柜体、供气组件、支撑架板和气体泄露检测器的配合，实现对供气管道供气时泄露的气体进行检测处理，通过第一电动推杆、升降板、固定板、第二电动推杆、第一滑槽、第一滑块、支撑座、吸气泵和进气管的配合，第一电动推杆带动上方的吸气泵升降，第二电动推杆带动吸气泵前后移动，实现对吸气泵的位置进行调节，便于吸气泵对泄露的气体进行快速吸取。
本实用新型一种磁控溅射镀膜工艺气体供气装置在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜工艺气体供气装置，其特征在于：包括柜体1，所述柜体1的上表面固定安装有供气组件2，所述柜体1的上表面固定连接有支撑架板3，所述支撑架板3的底面固定连接有气体泄露检测器4，所述柜体1的上表面设置有开口5，所述柜体1的内壁固定连接有隔板6，所述柜体1的内底壁固定连接有两个第一电动推杆7，两个所述第一电动推杆7的输出端共同固定连接有升降板8，所述升降板8的上表面固定连接有固定板9，所述固定板9的正面固定连接有第二电动推杆10，所述升降板8的上表面开设有第一滑槽11，所述第一滑槽11的内壁滑动连接有第一滑块12，所述第一滑块12的上表面固定连接有支撑座13，所述第二电动推杆10的输出端与支撑座13的背面固定连接，所述支撑座13的内壁固定连接有吸气泵14，所述吸气泵14的输入端固定连通有进气管15。
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