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郑州克普斯机械设备有限公司白红帅获国家专利权

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龙图腾网获悉郑州克普斯机械设备有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜机使用的真空空心磁耦合馈通装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223837542U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520106646.1,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种磁控溅射镀膜机使用的真空空心磁耦合馈通装置是由白红帅设计研发完成,并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种磁控溅射镀膜机使用的真空空心磁耦合馈通装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及真空馈通技术领域,公开一种磁控溅射镀膜机使用的真空空心磁耦合馈通装置,包括:隔离罩,两端均设置法兰;空心主轴,第一端延伸至所述隔离罩内;外磁性转子,环绕于所述隔离罩外侧;内磁性转子,连接在所述空心主轴第一端外侧;输入轮,与所述外磁性转子连接并用于与外部驱动设备连接;本实用新型采用空心主轴,在实现磁耦合转矩传递的同时,空心主轴在真空腔室内部旋转的同时,内部可容纳不需要旋转的装置,如走线、安装机械手等其它设备,赋予馈通结构更多的功能丰富性、灵活性、多种可能性;隔离罩两端的法兰便于外部装置连接于真空腔室外。

本实用新型一种磁控溅射镀膜机使用的真空空心磁耦合馈通装置在权利要求书中公布了:1.一种磁控溅射镀膜机使用的真空空心磁耦合馈通装置,其特征在于,包括: 隔离罩1,两端均设置法兰; 空心主轴2,第一端延伸至所述隔离罩1内; 外磁性转子3,环绕于所述隔离罩1外侧; 内磁性转子4,连接在所述空心主轴2第一端外侧; 输入轮,与所述外磁性转子3连接并用于与外部驱动设备连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人郑州克普斯机械设备有限公司,其通讯地址为:450000 河南省郑州市高新技术开发区红叶路89号1号楼2单元27层1513号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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