大连东软信息学院刘皓宇获国家专利权
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龙图腾网获悉大连东软信息学院申请的专利一种温敏薄膜磁控溅射装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223837541U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520095631.X，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种温敏薄膜磁控溅射装置是由刘皓宇;刘盛意;王莉;陈丽媛;谭俊;尹涵;高尚;朱颖设计研发完成，并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种温敏薄膜磁控溅射装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种温敏薄膜磁控溅射装置，属于磁控溅射技术领域。包括隔离筒和固定在隔离筒内的底座，还包括辅助铺设筒和基片安装座及锡纸，所述基片安装座包括基座、环形分布在基座上的轴杆、转动设置在轴杆上的弹片和固定在弹片与轴杆之间的弹簧，所述基座与底座可拆装，所述隔离筒的一侧固定有缠绕筒，所述缠绕筒和隔离筒的一侧均开设有相对应的条形孔，所述缠绕筒可拆装，所述锡纸的两端缠绕收纳在缠绕筒内，所述辅助铺设筒外径靠近隔离筒内且不贴合，实现了便于对隔离筒内锡纸更换，同时方便基片固定的技术效果。
本实用新型一种温敏薄膜磁控溅射装置在权利要求书中公布了：1.一种温敏薄膜磁控溅射装置，包括隔离筒1和固定在隔离筒1内的底座6，其特征在于：还包括辅助铺设筒5和基片安装座4及锡纸3，所述基片安装座4包括基座41、环形分布在基座41上的轴杆42、转动设置在轴杆42上的弹片43和固定在弹片43与轴杆42之间的弹簧44，所述基座41与底座6可拆装，所述隔离筒1的一侧固定有缠绕筒2，所述缠绕筒2和隔离筒1的一侧均开设有相对应的条形孔11，所述缠绕筒2可拆装，所述锡纸3的两端缠绕收纳在缠绕筒2内，所述辅助铺设筒5外径靠近隔离筒1内且不贴合。
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