温州大学;温州职业技术学院邵文杰获国家专利权
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龙图腾网获悉温州大学;温州职业技术学院申请的专利一种用于精确调控复合靶材多层复合涂层的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223837538U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520040482.7，技术领域涉及：C23C14/32；该实用新型一种用于精确调控复合靶材多层复合涂层的装置是由邵文杰;郎文昌;胡晓忠;张晓建;吴世琛设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于精确调控复合靶材多层复合涂层的装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于精确调控复合靶材多层复合涂层的装置，属于真空镀膜领域，其包括有复合靶材与靶座，所述复合靶材设置于靶座上，所述靶座下方沿其中心轴线向外依次设置有条形永磁体、小电磁线圈、环形磁极与大电磁线圈，并且所述条形永磁体、小电磁线圈、环形磁极与大电磁线圈在所述复合靶材表面形成用于调控弧斑在复合靶材上的运动轨迹的复合磁场。本实用新型提高了制备多层涂层的调控精度、制备效率以及多样性，可以获得具有新颖结构、复合功能和结合力更佳的多层纳米复合涂层。
本实用新型一种用于精确调控复合靶材多层复合涂层的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于精确调控复合靶材多层复合涂层的装置，包括有复合靶材1与靶座3，所述复合靶材1设置于靶座3上，其特征在于，所述靶座3下方沿其中心轴线向外依次设置有条形永磁体44、小电磁线圈42、环形磁极与大电磁线圈41，并且所述条形永磁体44、小电磁线圈42、环形磁极与大电磁线圈41在所述复合靶材1表面形成用于调控弧斑在复合靶材1上的运动轨迹的复合磁场。
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