安徽光智科技有限公司李行鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利蒸镀装置及用于芯片的制备系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223837536U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520342426.9，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型蒸镀装置及用于芯片的制备系统是由李行鹏;宋江梦;周帅坤;安连;方文德设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸镀装置及用于芯片的制备系统在说明书摘要公布了：本申请公开一种蒸镀装置，包括密封箱、悬挂件及装载组件。悬挂件连接于密封箱，且位于密封箱内；装载组件包括装载盘及覆盖件，装载盘可拆卸地连接于悬挂件，且装载盘上设有装载衬底的装载位，覆盖件装设于装载位，以将衬底固定于装载位；覆盖件覆盖衬底上光刻胶的部分位置，且覆盖件贯穿开设有工艺开口，以暴露衬底上的蒸镀区域。采用上述的蒸镀装置，由于覆盖件能够覆盖光刻胶的部分位置，故光刻胶被覆盖的区域不会形成固态薄膜，蒸镀完成后可以在被覆盖的区域形成暴露光刻胶的缺口，从而使得剥离液能够通过缺口直接与光刻胶接触，方便光刻胶的去除，避免影响后续的工艺。本申请还公开一种用于芯片的制备系统。
本实用新型蒸镀装置及用于芯片的制备系统在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括： 密封箱； 悬挂件，连接于所述密封箱，且位于所述密封箱内； 装载组件，包括装载盘及覆盖件，所述装载盘可拆卸地连接于所述悬挂件，且所述装载盘上设有装载衬底的装载位，所述覆盖件装设于所述装载位，以将所述衬底固定于所述装载位； 其中，所述覆盖件覆盖所述衬底上光刻胶的部分位置，且所述覆盖件贯穿开设有工艺开口，以暴露所述衬底上的蒸镀区域。
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