枣庄睿诺电子科技有限公司张民井获国家专利权
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龙图腾网获悉枣庄睿诺电子科技有限公司申请的专利一种磁控溅射用基底清洗结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223837532U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520061235.5，技术领域涉及：C23C14/02；该实用新型一种磁控溅射用基底清洗结构是由张民井;洪耀;陈凯;产桂方设计研发完成，并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射用基底清洗结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及基底清洗设备领域，公开了一种磁控溅射用基底清洗结构，包括超声清洗箱，所述超声清洗箱的顶部通过轴杆铰接有顶盖，所述顶盖的顶部固定连接有电机，所述电机的输出端贯穿至顶盖的底部并固定连接有搅拌杆，所述顶盖顶部的右侧固定连接有凹形板，所述顶盖顶部的右侧固定连接有固定箱，所述固定箱的顶部通过轴杆铰接有弧形板。本实用新型中，由弹片通过滑套带动卡板卡入卡套的内部对顶盖进行固定，再由电机带动搅拌杆对清洗液进行搅动混合，最后由超声清洗箱通过清洗液对基底进行超声波清洗，达到能够对基底进行搅拌清洗的效果，清洗剂和水能够均匀分布，一定程度的提高了清洗效果。
本实用新型一种磁控溅射用基底清洗结构在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射用基底清洗结构，包括超声清洗箱1，其特征在于：所述超声清洗箱1的顶部通过轴杆铰接有顶盖2，所述顶盖2的顶部固定连接有电机3，所述电机3的输出端贯穿至顶盖2的底部并固定连接有搅拌杆4，所述顶盖2顶部的右侧固定连接有凹形板5，所述顶盖2顶部的右侧固定连接有固定箱6，所述固定箱6的顶部通过轴杆铰接有弧形板7，所述弧形板7的底端贯穿至固定箱6的内部并固定连接有滑杆8，所述固定箱6的内部设置有卡板9，所述卡板9顶部的前侧与后侧均固定连接有滑套10，所述滑套10滑动套接在滑杆8的表面，所述滑套10的左侧固定连接有弹片11，所述弹片11的左端固定连接在固定箱6的内部，所述超声清洗箱1顶部的右侧固定连接有卡套12，所述卡板9的右端贯穿至卡套12的内部，所述超声清洗箱1的右侧固定连接有放置箱13，所述放置箱13的右侧设置有烘干组件，所述顶盖2的底部设置有导流组件。
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