山东伟基炭科技有限公司于继侗获国家专利权
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龙图腾网获悉山东伟基炭科技有限公司申请的专利一种气相渗硅拼接坩埚工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223837531U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520092502.5,技术领域涉及:C23C12/02;该实用新型一种气相渗硅拼接坩埚工装是由于继侗;赵志洋;耿广仁;王宁;杨瀚林;宋义忠设计研发完成,并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气相渗硅拼接坩埚工装在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种气相渗硅拼接坩埚工装,属于气相渗硅领域,包括坩埚底、料盘、坩埚盖以及至少一个坩埚侧壁,所述坩埚底用于放置料盘,所述坩埚底内部至少设有三个支钉;所述料盘用于盛放气相渗硅原料;所述坩埚侧壁,用于调整坩埚的轴向高度,所述坩埚侧壁内部设有支撑结构,用于支撑待渗硅产品;最上部的坩埚侧壁上端设有坩埚盖,所述坩埚底上端、坩埚侧壁两端以及坩埚盖下端设有相互配合的装配台阶,用于坩埚工装的快速装配。本坩埚工装采用拼接式结构,且在坩埚底内部设置了用于放置渗硅原料的料盘,不仅降低了坩埚工装的制造和使用成本,而且提高了坩埚工装对不同结构、不同规格产品进行渗硅作业的灵活性。
本实用新型一种气相渗硅拼接坩埚工装在权利要求书中公布了:1.一种气相渗硅拼接坩埚工装,其特征在于,包括: 坩埚底1,用于放置料盘3,所述坩埚底1内部至少设有三个支钉2; 料盘3,用于盛放气相渗硅原料; 至少一个坩埚侧壁4,用于调整坩埚的轴向高度,所述坩埚侧壁4内部设有支撑结构,用于支撑待渗硅产品;最上部的坩埚侧壁4上端设有坩埚盖10,所述坩埚底1上端、坩埚侧壁4两端以及坩埚盖10下端设有相互配合的装配台阶12,用于坩埚工装的快速装配。
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