中国电子科技集团公司第五十八研究所陈彬获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第五十八研究所申请的专利一种无接触树脂翘曲片作业辅助装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223835028U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520266486.7,技术领域涉及:B29C53/16;该实用新型一种无接触树脂翘曲片作业辅助装置是由陈彬;张鹏;陈晓雷;陈亚海设计研发完成,并于2025-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种无接触树脂翘曲片作业辅助装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种无接触树脂翘曲片作业辅助装置,包括支撑载体,对准与加压模块,平整度检测模块,对准与加压模块包含:氮气加压组件,包括上夹具,所述上夹具具有用于树脂翘曲片吸附固定的气路Ⅰ以及用于控制贴合后气体压力施加和释放的加压气路和电磁控制阀门,通过氮气加压实现树脂翘曲片和支撑载体之间的紧密贴合;平整度检测模块,包含激光发射器和激光接收器,所述激光发射器安装在上夹具的侧面,激光接收器设置于上夹具的另一侧面,激光发射器和激光接收器对应位置装配在同一水平高度,通过激光传感器检测树脂片的降翘曲效果。本新型的无接触树脂翘曲片作业辅助装置,借助气体加压实现树脂翘曲片正面芯片无接触、无损伤加压粘合。
本实用新型一种无接触树脂翘曲片作业辅助装置在权利要求书中公布了:1.一种无接触树脂翘曲片作业辅助装置,其特征在于,包括: 支撑载体1,所述支撑载体1为与晶圆材热膨胀系数相匹配,且可重复利用的高刚度透明玻璃载片,用于承载树脂翘曲片; 对准与加压模块,包含: 氮气加压组件,包括上夹具6,所述上夹具6具有用于树脂翘曲片吸附固定的气路Ⅰ以及用于控制贴合后气体压力施加和释放的加压气路2和电磁控制阀门,通过氮气加压实现树脂翘曲片和支撑载体1之间的紧密贴合; 平整度检测模块,包含激光发射器3和激光接收器4,所述激光发射器3安装在上夹具6的侧面,激光接收器4设置于上夹具6的另一侧面。
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