甬矽半导体(宁波)有限公司何正鸿获国家专利权
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龙图腾网获悉甬矽半导体(宁波)有限公司申请的专利镀膜切割装置和溅射机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223834815U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520168985.2，技术领域涉及：B28D5/02；该实用新型镀膜切割装置和溅射机台是由何正鸿;张聪;张成;邹浩林;姜滔设计研发完成，并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜切割装置和溅射机台在说明书摘要公布了：本申请提供的一种镀膜切割装置和溅射机台，涉及半导体设备技术领域。该镀膜切割装置包括第一模具、第二模具和载盘，第一模具设有吸附部和切割部。第二模具设有第一顶升机构、切割平台和覆膜带，覆膜带铺设在切割平台上。覆膜带上用于贴装待切割晶圆；第一顶升机构与切割平台连接。载盘设于覆膜带上；吸附部能在通电状态下吸附载盘。第一模具和第二模具在合模的状态下，切割部能将待切割晶圆切割分离；切割平台在第一顶升机构的作用下能致覆膜带断裂；吸附部吸附载盘能一并转移断裂后的覆膜带以及覆膜带上的切割分离后的晶圆。可实现镀膜、切割和转移，提高溅射效率。
本实用新型镀膜切割装置和溅射机台在权利要求书中公布了：1.一种镀膜切割装置，其特征在于，包括： 第一模具，所述第一模具设有吸附部和切割部； 第二模具，所述第二模具设有第一顶升机构、切割平台和覆膜带，所述覆膜带铺设在所述切割平台上；所述覆膜带上用于贴装待切割晶圆；所述第一顶升机构与所述切割平台连接； 载盘，所述载盘设于所述覆膜带上；所述吸附部能在通电状态下吸附所述载盘； 所述第一模具和所述第二模具在合模的状态下，所述切割部能将所述待切割晶圆切割分离；所述切割平台在所述第一顶升机构的作用下能致所述覆膜带断裂；所述吸附部吸附载盘能一并转移断裂后的覆膜带以及覆膜带上的切割分离后的晶圆。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人甬矽半导体(宁波)有限公司，其通讯地址为：315400 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园滨海大道60号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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