珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司李辉斌获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司申请的专利晶圆割膜装置及割膜系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223834622U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520098048.4,技术领域涉及:B26D7/01;该实用新型晶圆割膜装置及割膜系统是由李辉斌;李理;陈唯一;宋旋坤;刘颖聪设计研发完成,并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆割膜装置及割膜系统在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种晶圆割膜装置及割膜系统,该装置包括底座与防卷吸附环槽;底座用于放置表面贴有覆膜的晶圆,底座表面构造有用于配合切割刀具的割膜环槽;防卷吸附环槽构造于底座表面且位于割膜环槽的内侧,防卷吸附环槽构造为能够通过抽真空而吸附晶圆表面的覆膜;防卷吸附环槽与割膜环槽均环绕置于底座的晶圆,且均对应覆膜超出晶圆边缘的外围部分。基于本实用新型的技术方案,即便覆膜的边缘在割膜后产生回缩、卷边,但防卷吸附环槽可以吸附住覆膜位于晶圆边缘外围的部分而使其无法产生卷边,从而可以避免覆膜边缘回缩、卷边产生的扰动到达晶圆,进而避免晶圆边缘的裸晶出现掉落的问题,保证晶圆的良品率。
本实用新型晶圆割膜装置及割膜系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆割膜装置,其特征在于,包括: 底座,其用于放置表面贴有覆膜的晶圆,所述底座表面构造有用于配合切割刀具的割膜环槽;以及 防卷吸附环槽,其构造于所述底座表面且位于所述割膜环槽的内侧,所述防卷吸附环槽构造为能够通过抽真空而吸附所述晶圆表面的覆膜; 其中,所述防卷吸附环槽与所述割膜环槽均环绕置于所述底座的晶圆,且均对应所述覆膜超出所述晶圆边缘的外围部分。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司,其通讯地址为:519070 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层428室(集中办公区);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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