浙江创芯集成电路有限公司崔元正获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利研磨液喷洒装置和研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223834296U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520419869.3，技术领域涉及：B24B57/02；该实用新型研磨液喷洒装置和研磨设备是由崔元正;杨小龙;张一帆;陈少伟;陈鹏宇;夏汇哲设计研发完成，并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨液喷洒装置和研磨设备在说明书摘要公布了：一种研磨液喷洒装置及研磨设备，研磨液喷洒装置包括研磨液输送模组、气体输送模组和雾化喷嘴；研磨液输送模组包括喷嘴，喷管具有出液口，喷管用于通过出液口向雾化喷嘴输送研磨液；气体输送模组包括气体输送管路，气体输送管路具有出气口，气体输送管路用于通过出气口向雾化喷嘴提供气体；雾化喷嘴设置在喷管上，雾化喷嘴与喷管的出液口以及气体输送管路的出气口连通，雾化喷嘴用于雾化研磨液并喷洒雾化后的研磨液。气体输送模组用于提供气体，使得雾化喷嘴能够雾化研磨液并喷洒雾化后的研磨液，有利于增加研磨液与研磨垫的接触面积，从而有利于提高研磨液的利用率，进而有效降低成本，减少研磨液对环境的影响。
本实用新型研磨液喷洒装置和研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种研磨液喷洒装置，其特征在于，包括研磨液输送模组、气体输送模组和雾化喷嘴； 所述研磨液输送模组包括喷管，所述喷管具有出液口，所述喷管用于通过所述出液口向所述雾化喷嘴输送研磨液； 所述气体输送模组包括气体输送管路，所述气体输送管路具有出气口，所述气体输送管路用于通过所述出气口向所述雾化喷嘴提供气体； 所述雾化喷嘴设置在所述喷管上，所述雾化喷嘴与所述喷管的出液口以及所述气体输送管路的出气口连通，所述雾化喷嘴用于雾化所述研磨液并喷洒雾化后的所述研磨液。
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