重庆芯联微电子有限公司李梦潇获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利一种化学机械抛光设备用排液装置及化学机械抛光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223834295U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520046521.4，技术领域涉及：B24B57/00；该实用新型一种化学机械抛光设备用排液装置及化学机械抛光设备是由李梦潇;罗超;刘怡良设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学机械抛光设备用排液装置及化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种化学机械抛光设备用排液装置及化学机械抛光设备，排液装置包括主排液管、回流监测装置、副排液管和紧急排液管；所述主排液管与研磨腔连通，所述副排液管和紧急排液管分别与所述主排液管连接，用于排出所述研磨腔室内的研磨废液；所述回流监测装置设置于所述副排液管和所述紧急排液管的上游；所述紧急排液管和所述主排液管的连接处设置有阀门。本方案通过回流监测装置监测排液情况，能够及时发现排液管道的堵塞问题，进一步通过设置的紧急排液管，能够在不停机的情况下进行排液继续生产，不需单独维护排液装置，大大降低了维护压力。
本实用新型一种化学机械抛光设备用排液装置及化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光设备用排液装置，其特征在于，包括主排液管、回流监测装置、副排液管和紧急排液管； 所述主排液管与研磨腔连通，所述副排液管和紧急排液管分别与所述主排液管连接，用于排出所述研磨腔内的研磨废液； 所述回流监测装置设置于所述副排液管和所述紧急排液管的上游； 所述紧急排液管和所述主排液管的连接处设置有阀门。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人重庆芯联微电子有限公司，其通讯地址为：401332 重庆市沙坪坝区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励