安徽光智科技有限公司潘鑫悦获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利一种高真空材料生长衬底载具的清洗用具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223833069U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423214663.1,技术领域涉及:B08B13/00;该实用新型一种高真空材料生长衬底载具的清洗用具是由潘鑫悦;王涛;李承林;石张勇设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高真空材料生长衬底载具的清洗用具在说明书摘要公布了:本申请公开了一种高真空材料生长衬底载具的清洗用具,涉及半导体材料加工技术领域,包括固定杆、第一花篮体以及第二花篮体;第一花篮体与第二花篮体自下而上层叠设置;第一花篮体上设有用于盛放载具的第一盛放腔;第二花篮体上设有用于盛放载具的第二盛放腔;第一花篮体上设有供固定杆一端插入并与固定杆可拆卸连接的连接孔;第二花篮体上设有供固定杆一端活动穿过的第一过孔。该设计能够实现一次两个载具同时清洗作业,有效提高作业效率;同时设计结构简单,组装拆卸也方便,固定杆、第一花篮体以及第二花篮体可独立拆出,利于后续维护。
本实用新型一种高真空材料生长衬底载具的清洗用具在权利要求书中公布了:1.一种高真空材料生长衬底载具的清洗用具,其特征在于,包括固定杆4、第一花篮体1以及第二花篮体2; 所述第一花篮体1与所述第二花篮体2自下而上层叠设置; 所述第一花篮体1上设有用于盛放载具的第一盛放腔11; 所述第二花篮体2上设有用于盛放载具的第二盛放腔21; 所述第一花篮体1上设有供所述固定杆4一端插入并与所述固定杆4可拆卸连接的连接孔10; 所述第二花篮体2上设有供所述固定杆4一端活动穿过的第一过孔20。
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