苏州森丸电子技术有限公司刘雅婷获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州森丸电子技术有限公司申请的专利一种等离子清洗机用托盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223833067U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423054583.4，技术领域涉及：B08B13/00；该实用新型一种等离子清洗机用托盘是由刘雅婷;宋义设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子清洗机用托盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种等离子清洗机用托盘，属于托盘技术领域，包括托盘本体，所述托盘本体为钛金属结构体，且所述托盘本体上设有容纳腔；夹具，所述夹具安装于所述容纳腔内，且所述夹具上设有容纳槽，以将晶圆容纳，所述容纳槽侧面设有至少一个斜向开口，以便于将位于所述容纳槽内的晶圆取出。本实用新型的等离子清洗机用托盘实现了对晶圆的快速取放，相较于传统的抽拉式托盘，有效地避免了金属碎屑颗粒物掉落进入工艺腔室底部或晶圆表面，从而不会对设备腔室内部环境和晶圆表面洁净度产生影响，提高了对晶圆的等离子清洗效果。
本实用新型一种等离子清洗机用托盘在权利要求书中公布了：1.一种等离子清洗机用托盘，其特征在于，包括 托盘本体10，所述托盘本体10为钛金属结构体，且所述托盘本体10上设有容纳腔11； 夹具20，所述夹具20安装于所述容纳腔11内，且所述夹具20上设有容纳槽21，以将晶圆容纳，所述容纳槽21侧面设有至少一个斜向开口211，以便于将位于所述容纳槽21内的晶圆取出， 所述斜向开口211的开口角度为30°-50°。
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