宁波芯丰精密科技有限公司万先进获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波芯丰精密科技有限公司申请的专利一种挡水结构及晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223832958U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520157777.2，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种挡水结构及晶圆清洗装置是由万先进;邬龙威;朱松;谢烨超;锁志勇;向毅;边逸军设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种挡水结构及晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体设备技术领域，公开一种挡水结构及晶圆清洗装置。晶圆清洗装置包括主壳体和第一门体，主壳体内设置有安装腔室。主壳体的侧壁设置有与安装腔室连通的取出口，第一门体可升降地设置于安装腔室内。挡水结构包括第一挡水槽和第二挡水槽，第一挡水槽设置于主壳体的内壁且开口朝上设置，第二挡水槽设置于主壳体的内壁且开口朝上设置。第二挡水槽低于第一挡水槽，且第二挡水槽相对第一挡水槽靠近安装腔室的中心设置。第一挡水槽和第二挡水槽用于收集主壳体内壁附着的清洗液。该晶圆清洗装置能够充分清洗晶圆，且通过设置挡水结构可以有效防止残留的清洗液滴落于晶圆的表面，避免晶圆污染，减少清洗次数，提高工作效率。
本实用新型一种挡水结构及晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种挡水结构，被配置为设置于晶圆清洗装置内，所述晶圆清洗装置包括主壳体11和第一门体14，所述主壳体11内设置有安装腔室113，所述主壳体11的侧壁设置有与所述安装腔室113连通的取出口112，所述安装腔室被配置为用于清洗晶圆，所述第一门体14可升降地设置于所述安装腔室113内，以封堵或开启所述取出口112，其特征在于，所述挡水结构包括： 第一挡水槽71，设置于所述主壳体11的内壁，所述第一挡水槽71高于所述取出口112的上端，且所述第一挡水槽71的开口朝上设置； 第二挡水槽72，设置于所述主壳体11的内壁，所述第二挡水槽72低于所述第一挡水槽71且高于所述取出口112的上端，所述第二挡水槽72的开口朝上设置，所述第二挡水槽72相对所述第一挡水槽71靠近所述安装腔室113的中心设置。
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