宁波芯丰精密科技有限公司万先进获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波芯丰精密科技有限公司申请的专利一种门体结构及晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223832957U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520156476.8，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种门体结构及晶圆清洗装置是由万先进;邬龙威;朱松;谢烨超;锁志勇;向毅;边逸军设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种门体结构及晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体设备技术领域，公开一种门体结构及晶圆清洗装置。晶圆清洗装置包括主壳体，主壳体内设置有安装腔室，主壳体的侧壁设置有与安装腔室连通的开口通道。门体结构包括第一门体和第二门体。第一门体被配置为可升降地设置于主壳体的外侧面，且能够封堵开口通道的靠外的一端。第二门体被配置为可升降设置于主壳体的内侧面，且能够封堵开口通道的靠内的一端。第一门体、第二门体和开口通道能够共同围设形成导出腔。抽风管被配置为设置于主壳体外侧，抽风管的一端被配置为与导出腔连通，另一端被配置为与气体回收处理设备连通。该晶圆清洗装置能充分清洗晶圆，且通过设置门体结构可有效防止气体泄露，避免影响工作人员的身体健康。
本实用新型一种门体结构及晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种门体结构，其特征在于，被配置为用于封堵晶圆清洗装置，所述晶圆清洗装置包括主壳体11，所述主壳体11内设置有安装腔室113，所述主壳体11的侧壁设置有与所述安装腔室113连通的开口通道111，所述安装腔室被配置为用于清洗晶圆，所述门体结构包括： 第一门体12，所述第一门体12被配置为可升降地设置于所述主壳体11的外侧面，且能够封堵所述开口通道111的靠外的一端； 第二门体13，所述第二门体13被配置为可升降设置于所述主壳体11的内侧面，且能够封堵所述开口通道111的靠内的一端，所述第一门体12、所述第二门体13和所述开口通道111能够共同围设形成导出腔； 抽风管16，被配置为设置于所述主壳体11外侧，所述抽风管的一端被配置为与所述导出腔连通，另一端被配置为与气体回收处理设备连通。
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