江苏元夫半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利一种清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223832948U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423318359.1,技术领域涉及:B08B3/02;该实用新型一种清洗装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗装置在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体技术领域,尤其涉及一种清洗装置。该清洗装置用于清洗被清洗件,被清洗件包括晶圆和或机械手,清洗装置包括支架组件;清洁组件,清洁组件转动连接于支架组件,清洁组件用于清洁被清洗件,清洁组件朝向被清洗件的一面设有喷射孔,喷射孔远离被清洗件的一端用于连接清洁介质供应设备,以向被清洗件喷射清洁介质;旋转驱动组件,旋转驱动组件连接于清洁组件,旋转驱动组件能够驱动清洁组件绕其旋转轴线旋转,以清洁被清洗件能够在被清洗件的清洗过程中在使用清洁组件清洁的同时,向被清洗件喷射清洁介质,更有效地去除被清洗件表面的污染物,缩短清洗时间并提高了清洗效率,而且可以减小将晶圆划伤的风险。
本实用新型一种清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种清洗装置,用于清洗被清洗件,所述被清洗件包括晶圆和或机械手,其特征在于,所述清洗装置包括: 支架组件; 清洁组件,所述清洁组件转动连接于所述支架组件,所述清洁组件用于清洁所述被清洗件,所述清洁组件朝向所述被清洗件的一面设有喷射孔,所述喷射孔远离所述被清洗件的一端用于连接清洁介质供应设备,以向所述被清洗件喷射清洁介质; 旋转驱动组件,所述旋转驱动组件连接于所述清洁组件,所述旋转驱动组件能够驱动所述清洁组件绕其旋转轴线旋转,以清洁所述被清洗件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏元夫半导体科技有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区行创四路7号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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