浙江创芯集成电路有限公司靳忆帆获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利尾气处理设备及半导体生产设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223832082U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422990424.9，技术领域涉及：B01D53/18；该实用新型尾气处理设备及半导体生产设备是由靳忆帆;王典勇;梁志;张严;叶洲设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本尾气处理设备及半导体生产设备在说明书摘要公布了：本实用新型实施例提供一种尾气处理设备及半导体生产设备，其中，所述尾气处理设备，包括：污染物去除部件，在所述污染物去除部件的侧壁上设置有液位线；至少一个液体侦测感应器，设置于所述液位线上，各个所述液体侦测器之间并联连接；所述液体侦测感应器用于检测所述污染物去除部件内的液体；当其中一个所述液体侦测感应器检测到液体的液位高度达到所述液位线时，发出排水信号，以排出部分液体至所述污染物去除部件的外部，保持所述污染物去除部件内的液体的液位高度在所述液位线内。本实用新型实施例所提供的技术方案，可提高尾气处理设备的工作可靠性和稳定性。
本实用新型尾气处理设备及半导体生产设备在权利要求书中公布了：1.一种尾气处理设备，其特征在于，包括： 污染物去除部件，在所述污染物去除部件的侧壁上设置有液位线；所述污染物去除部件的液位线与尾气处理设备的功能系统联动运行；所述污染物去除部件内维持一定量的水进行不断循环流动； 至少一个液体侦测感应器，设置于所述液位线上，各个所述液体侦测感应器之间并联连接；所述液体侦测感应器用于检测所述污染物去除部件内的液体；当其中一个所述液体侦测感应器检测到液体的液位高度达到所述液位线时，发出排水信号，以排出部分液体至所述污染物去除部件的外部，保持所述污染物去除部件内的液体的液位高度在所述液位线内； 其中，所述液位侦测感应器通过绝缘件避免电极之间导通，防止假报警。
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