上海车仪田科技有限公司刘新阳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利光谱仪分辨率的控制方法、模块及原位监测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121185592B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511714127.4，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权光谱仪分辨率的控制方法、模块及原位监测系统是由刘新阳;张黎明设计研发完成，并于2025-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本光谱仪分辨率的控制方法、模块及原位监测系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种光谱仪分辨率的控制方法、模块及原位监测系统，涉及半导体检测技术领域，本申请获取光谱仪输出的光谱数据，计算其中心波长值，根据中心波长值和预设的目标分辨率，查询预设的关系模型，得到对应的目标狭缝宽度；发送调整指令至电机，以使电机在光谱仪扫描不同波段的间歇期内，将狭缝调整至目标狭缝宽度，进而将光谱仪的当前分辨率调整至目标分辨率。本申请可以根据实时测量的光谱数据得到对应的目标狭缝宽度，并驱动电机调整狭缝至目标狭缝宽度，从而调整当前分辨率，将外延生长过程中光谱仪的分辨率维持在目标分辨率，从而提高测量精度，稳定半导体器件的性能。
本发明授权光谱仪分辨率的控制方法、模块及原位监测系统在权利要求书中公布了：1.一种光谱仪分辨率的控制方法，其特征在于，适用于半导体外延生长设备的原位监测系统，所述原位监测系统包括光谱仪和电机；所述方法包括: 获取所述光谱仪输出的光谱数据； 根据所述光谱数据，计算得到中心波长值； 根据所述中心波长值和预设的目标分辨率，查询预设的关系模型，得到对应的目标狭缝宽度；其中，所述关系模型用于表征光谱仪的分辨率随中心波长和狭缝宽度变化的非线性关系； 发送调整指令至所述电机，以使所述电机在所述光谱仪扫描不同波段的间歇期内，将狭缝调整至所述目标狭缝宽度，进而将所述光谱仪的当前分辨率调整至所述目标分辨率。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海车仪田科技有限公司，其通讯地址为：201114 上海市闵行区新骏环路138号2幢102、202室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励