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龙图腾网获悉上海芯无双仿真科技有限公司申请的专利基于曲面拟合的工艺窗口预测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121165411B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511724815.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权基于曲面拟合的工艺窗口预测方法是由任谦;王昳;赵伟;修磊;陈强;方大千;潘继宏设计研发完成，并于2025-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于曲面拟合的工艺窗口预测方法在说明书摘要公布了：本发明提供基于曲面拟合的工艺窗口预测方法，涉及光刻技术领域，包括预测系统，预测系统中包含控制模块、测量数据处理模块、模型仿真模块、工艺窗口分析模块和可视化模块，本技术方案通过曲面拟合预测工艺窗口，同时考虑FocusDose参数对CD的影响，拟合结果误差更小，预测的工艺窗口更准确，通过三维曲面拟合方法综合分析光照剂量和聚焦位置的交互影响，克服传统Bossung图和EL图单一参数拟合的过拟合问题，生成更大、更稳定的公共工艺窗口，预测误差从8%降低至4.8%，工艺窗口面积增加12%，显著提高晶圆所有位置图形质量的预测精度。

本发明授权基于曲面拟合的工艺窗口预测方法在权利要求书中公布了：1.一种基于曲面拟合的工艺窗口预测方法，包括预测系统，其特征在于：所述预测系统中包含控制模块、测量数据处理模块、模型仿真模块、工艺窗口分析模块和可视化模块； 所述控制模块为控制主体执行以下控制流程：初始化系统，加载晶圆数据；向测量数据处理模块发送数据采集指令；接收测量数据处理模块的测量结果数据，传输至模型仿真模块；触发模型仿真模块生成仿真测量结果；将测量结果数据和仿真测量结果传输至工艺窗口分析模块；接收工艺窗口分析模块的工艺窗口数据；触发可视化模块生成可视化图形；基于生产良率数据调整系统参数，迭代分析至工艺窗口满足预设阈值； 所述测量数据处理模块生成测量结果数据，传输至控制模块；模型仿真模块生成仿真测量结果，传输至控制模块；工艺窗口分析模块包含曲面拟合子模块生成曲面数据、投影子模块生成合格参数取值空间数据、窗口优化子模块生成工艺窗口数据，传输至控制模块；可视化模块生成三维曲面图形和二维投影图形，传输至控制模块； 所述预测系统的预测方法包括以下步骤： S1：在晶圆上确定多个测量点，每个测量点对应关键尺寸； S2：确定工艺参数组合，包括光照剂量和聚焦位置； S3：生成每组工艺参数下各测量点的测量结果数据和仿真测量结果，融合测量结果数据和仿真测量结果； S4：基于融合数据生成三维点集，每个点由光照剂量、聚焦位置和关键尺寸组成； S5：基于自适应曲面拟合算法将三维点集拟合成连续曲面； S6：根据关键尺寸合格范围截取曲面，生成合格曲面数据； S7：通过加权投影算法将合格曲面投影到光照剂量-聚焦位置平面，生成合格参数取值空间； S8：基于约束优化算法在合格参数取值空间中生成最大工艺窗口； S9：基于生产良率数据调整曲面拟合参数，重复步骤S5至S8，直至工艺窗口满足预设阈值。

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