买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利气体浓度检测装置及实时检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121141810B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511685751.6，技术领域涉及：G01N29/024；该发明授权气体浓度检测装置及实时检测方法是由张南南;张黎明;云燕午;任聪群设计研发完成，并于2025-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本气体浓度检测装置及实时检测方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种气体浓度检测装置及实时检测方法。该气体浓度检测装置，用于实时检测半导体设备的气路中的二元混合气体中待测气体的浓度，该装置包括：测量腔、压力传感器、驱动器、超声波发射换能器、超声波接收换能器、放大器与处理器。测量腔设置于半导体设备的气路上；超声波发射换能器与超声波接收换能器设置于测量腔的内壁上，位于气路两侧，且位置相对。压力传感器位于测量腔内，并与处理器电连接；超声波接收换能器经放大器与处理器电连接，处理器与驱动器电连接，驱动器与超声波发射换能器电连接。本申请可以根据气体压力动态地调整超声波发射换能器的驱动电压以及放大器的放大增益倍数，实现实时气体浓度检测，扩展了可测压力范围。

本发明授权气体浓度检测装置及实时检测方法在权利要求书中公布了：1.一种气体浓度检测装置，用于实时检测半导体设备的气路中的二元混合气体中待测气体的浓度，所述二元混合气体包括载气与所述待测气体，其特征在于，所述气体浓度检测装置，包括：测量腔、压力传感器、驱动器、超声波发射换能器、超声波接收换能器、放大器与处理器； 所述测量腔设置于半导体设备的气路上，所述气路贯穿所述测量腔；所述超声波发射换能器与所述超声波接收换能器设置于所述测量腔的内壁上，位于所述气路两侧，且位置相对；所述气路用于传输待测气体； 所述压力传感器位于所述测量腔内，并与所述处理器电连接；所述超声波接收换能器经所述放大器与所述处理器电连接，所述处理器与所述驱动器电连接，所述驱动器与所述超声波发射换能器电连接； 所述压力传感器用于检测所述测量腔内的气体压力，所述处理器用于基于所述气体压力确定对应的驱动电压系数与放大增益系数；所述驱动器用于基于所述驱动电压系数给所述超声波发射换能器提供对应的驱动电压，以驱动所述超声波发射换能器发射对应振幅的超声波信号；所述超声波信号经二元混合气体传输至所述超声波接收换能器；所述超声波接收换能器将感测的超声波信号转换为第一电信号传输至所述放大器，所述放大器基于所述放大增益系数对所述第一电信号放大对应的增益倍数，得到第二电信号；所述处理器对所述第二电信号进行处理得到所述超声波信号的飞行时间，并基于所述飞行时间计算得到待测气体的浓度； 所述处理器用于基于所述气体压力以及如下计算式确定对应的驱动电压系数与放大增益系数： H=h1×K+h2×G×n×P760； 其中，H为最佳声波振幅经验值，h1为驱动电压贡献部分的基准值，h2为放大增益贡献部分的基准值，K为驱动电压系数，G为放大增益系数，n为缩放比例系数，P为气体压力的数值； h1为1.25V，h2为1.25V，H为2.5V，气体压力的数值范围为2-1520； 当P=760时，K为0.01，G为0.01； 当P=2时，K为3.8，G为3.8； 当P=1520时，K为0.005，G为0.005； 当1520P760时，K的初始值与G的初始值均为0.01，先保持K的值不变，降低G的值，若将G的值降低至0.005时，H的值大于2.5V，则保持G的值不变，降低K的值，直至H=2.5V； 当760P2时，K的初始值与G的初始值均为1，先保持G的值不变，调高K的值，若将K的值调高至3.8时，H的值还是低于2.5V，则保持K的值不变，调高G的值，直至H=2.5V。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海车仪田科技有限公司，其通讯地址为：201114 上海市闵行区新骏环路138号2幢102、202室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。