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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利外延生长反应腔内工艺环境的优化方法及其系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121093859B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511630627.X，技术领域涉及：G06F30/28；该发明授权外延生长反应腔内工艺环境的优化方法及其系统是由刘新阳;张黎明;邢陈陈设计研发完成，并于2025-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本外延生长反应腔内工艺环境的优化方法及其系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种外延生长反应腔内工艺环境的优化方法及其系统，涉及半导体检测技术领域，本申请获取反应腔内颗粒物的侧向散射光信号和行星盘的旋转相位信息，采用最优估计算法与基于工艺场景构建的正向模型数据库进行比对，能够在外延生长过程中实时反演颗粒物的浓度信息和颗粒物来源，并据此量化与颗粒物生成相关的工艺参数，实现对外延生长的工艺环境的动态优化。采用该方案，能够及时识别不同机理导致的颗粒物风险，针对性调整工艺参数，从而有效抑制颗粒物积累与污染事件，提升外延生长稳定性与成品率，保证薄膜质量与工艺一致性。

本发明授权外延生长反应腔内工艺环境的优化方法及其系统在权利要求书中公布了：1.一种外延生长反应腔内工艺环境的优化方法，其特征在于，所述方法包括: 获取散射光信号和反应腔内行星盘的旋转相位信号；其中，所述散射光信号是激光信号经由原位光学测量装置的侧向探测通道照射至反应腔内颗粒物产生的； 基于最优估计算法，将所述散射光信号和预设的正向模型数据库进行比对，反演得到颗粒物的浓度信息，包括：根据所述散射光信号，从所述正向模型数据库中查询得到表征颗粒物固有属性的等效参数；其中，所述等效参数包括等效尺寸和等效折射率；在预设的统计时间内，统计所述散射光信号的脉冲数量和幅度，得到统计结果；根据所述统计结果和所述等效参数，采用光散射粒子计数原理，计算出单位体积内的颗粒物数量，得到浓度信息；其中，所述正向模型数据库用于表征在给定波长与散射角条件下，颗粒物属性与探测点散射响应之间的映射关系，且是基于反应腔的工艺参数，采用结合了计算流体力学模型的蒙特卡洛方法，模拟光子在动态旋转工艺参数条件下的光学采集路径形成的； 根据所述浓度信息和所述旋转相位信号确定颗粒物来源，包括：将所述浓度信息和所述旋转相位信号进行关联分析，得到颗粒物浓度随相位的变化规律；在所述变化规律具有与行星盘的旋转周期同步的周期性特征的情况下，判定所述颗粒物来源为旋转部件；在所述变化规律为非周期性突变的情况下，判定所述颗粒物来源为工艺气体反应和或腔壁瞬时剥落； 根据所述颗粒物来源，量化工艺参数，以优化反应腔外延生长的工艺环境。

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