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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利外延生长反应腔内气体浓度的检测方法、系统、计算机设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121049206B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511596156.5，技术领域涉及：G01N21/39；该发明授权外延生长反应腔内气体浓度的检测方法、系统、计算机设备及存储介质是由刘新阳;张黎明;邢陈陈设计研发完成，并于2025-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本外延生长反应腔内气体浓度的检测方法、系统、计算机设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供了一种外延生长反应腔内气体浓度的检测方法、系统、计算机设备及存储介质，本申请获取反射光信号、参考信号和反应腔环境信号；根据参考信号对反射光信号进行波长校准和强度基线校准，并根据校准后的反射光信号生成实验吸收谱线；根据反应腔环境信号，对实验吸收谱线和查询预设数据库得到的目标吸收谱线进行拟合，反演得到待测气体的浓度信息。本申请通过参考通道的双校准，使实验谱线与数据库目标谱在频标与幅标上严格对齐，减少线位移和基线起伏对拟合的干扰，提高定量精度；同时引入环境工况作为物理约束，弱化了参数耦合，提升反演的可辨识性与鲁棒性，降低了对纯经验性校正的依赖，提高了检测数据的稳定性。

本发明授权外延生长反应腔内气体浓度的检测方法、系统、计算机设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种外延生长反应腔内气体浓度的检测方法，其特征在于，所述方法包括: 获取反射光信号、参考信号和反应腔环境信号；其中，所述反射光信号是激光信号穿过反应腔时测量得到的，所述参考信号是激光信号穿过参考气室时测量得到的，且所述反应腔和所述参考气室内具有同一种类的待测气体； 根据所述参考信号对所述反射光信号进行波长校准和强度基线校准，并根据校准后的所述反射光信号生成实验吸收谱线，包括： 根据所述参考信号中参考气室吸收峰的绝对中心波长，建立所述激光信号的扫描时间和波长的映射关系，并根据所述映射关系，为所述反射光信号中各数据点配置对应的波长值； 在目标吸收峰两侧预设的无吸收区段内，对所述反射光信号的强度包络进行拟合，得到无吸收强度基线； 基于所述无吸收强度基线，按所述波长值逐点计算得到每个采样点的吸收度，各所述吸收度构成所述实验吸收谱线； 根据所述反应腔环境信号，对所述实验吸收谱线和目标吸收谱线进行拟合，反演得到待测气体的浓度信息；其中，所述目标吸收谱线是基于所述待测气体从预设数据库中查询得到的。

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