北京吉兆源科技有限公司李树瑜获国家专利权
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龙图腾网获悉北京吉兆源科技有限公司申请的专利一种阻抗匹配器和离子源装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121034937B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511548787.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种阻抗匹配器和离子源装置是由李树瑜;刘帅;梁得柱;李彦伯设计研发完成，并于2025-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种阻抗匹配器和离子源装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种阻抗匹配器和离子源装置。该阻抗匹配器位于离子源装置中的真空腔室内；阻抗匹配器包括电感线圈和至少两个电容单元；电感线圈位于离子源装置中反应腔体的外侧，用于电离反应腔体内的工艺气体；各电容单元包括多层层叠设置的电容基板；电容基板包括陶瓷板和形成于陶瓷板第一表面的导电层；其中，同一电容单元中，奇数层电容基板的导电层相互电连接形成第一电极组，偶数层电容基板的导电层相互电连接形成第二电极组，第一电极组与第二电极组相互绝缘。本发明提供了一种阻抗匹配器和离子源装置，该阻抗匹配器可安装于离子源装置中的真空腔室内，还可在射频线缆长度可调的条件下，保障离子源装置中射频能量的利用率。
本发明授权一种阻抗匹配器和离子源装置在权利要求书中公布了：1.一种阻抗匹配器，其特征在于，位于离子源装置中的真空腔室内； 所述阻抗匹配器包括电感线圈和至少两个电容单元； 所述电感线圈位于所述离子源装置中反应腔体的外侧，用于电离所述反应腔体内的工艺气体； 各所述电容单元包括多层层叠设置的电容基板；所述电容基板包括陶瓷板和形成于所述陶瓷板第一表面的导电层； 其中，同一所述电容单元中，奇数层电容基板的导电层相互电连接形成第一电极组，偶数层电容基板的导电层相互电连接形成第二电极组，所述第一电极组与所述第二电极组相互绝缘； 所述阻抗匹配器还包括安装基板，各所述电容单元固定贴装于所述安装基板的第一侧，所述电感线圈设置于所述安装基板的第二侧；其中，所述第一侧与所述第二侧相对设置；所述安装基板与所述离子源装置中的水冷板紧密贴合，所述安装基板用于将所述电容单元产生的热量导出。
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