高视科技(苏州)股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉高视科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种显微筒镜及显微系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121028357B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511577168.3,技术领域涉及:G02B21/02;该发明授权一种显微筒镜及显微系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种显微筒镜及显微系统在说明书摘要公布了:本申请公开了一种显微筒镜及显微系统,该显微筒镜包括沿物方到像方的方向依次同轴设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组;所述第一透镜组与所述第二透镜组之间,以及所述第二透镜组和所述第三透镜组之间,均具有光学间隔;所述显微筒镜的焦距为370mm、像距为225.679mm,并且入瞳与所述第一透镜组之间的光学间隔为490mm。本申请的显微筒镜支持大靶面TDI线扫描相机,能够有效发挥TDI相机在适应平台抖动、提升信噪比及扫描速度方面的优势,提高晶圆缺陷检测的精度与效率。
本发明授权一种显微筒镜及显微系统在权利要求书中公布了:1.一种显微筒镜,其特征在于,包括沿物方到像方的方向依次同轴设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组; 所述第一透镜组与所述第二透镜组之间,以及所述第二透镜组和所述第三透镜组之间,均具有光学间隔; 所述显微筒镜的焦距为370mm、像距为225.679mm,并且入瞳与所述第一透镜组之间的光学间隔为490mm; 具有光焦度的透镜总共为六片;所述第一透镜组包括具有正光焦度的第一透镜、具有正光焦度的第二透镜和具有负光焦度的第三透镜;所述第一透镜为凸凹透镜,所述第二透镜为双凸透镜,所述第三透镜为凹凸透镜; 所述第二透镜组包括具有正光焦度的第四透镜;所述第四透镜为凸平透镜或凸凹透镜; 所述第三透镜组包括第五透镜和第六透镜,所述第五透镜具有正光焦度,所述第六透镜具有负光焦度;所述第五透镜为双凸透镜,所述第六透镜为双凹透镜;或者所述第五透镜为凸凹透镜,所述第六透镜为凸凹透镜;所述第五透镜的曲率半径R5与所述第六透镜的曲率半径R6之间满足:。
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