锦州远腾电炉科技有限公司崔莫依获国家专利权
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龙图腾网获悉锦州远腾电炉科技有限公司申请的专利一种真空炉炉膛结构及仿真优化方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121008464B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511537157.2,技术领域涉及:G05B11/42;该发明授权一种真空炉炉膛结构及仿真优化方法是由崔莫依;冯佳文;高嘉旭;宋文秀;杜卓琪设计研发完成,并于2025-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空炉炉膛结构及仿真优化方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种真空炉炉膛结构及仿真优化方法,涉及真空炉控制技术领域,本发明通过分布式传感器阵列实时采集各腔室在不同工艺阶段的压力值,利用滑动窗口法计算压力梯度并识别异常点;基于真空度偏差序列,采用PID控制算法生成目标抽气速率,通过伺服电机调节阀门开度以优化真空度;结合计算流体力学模型和模糊控制算法优化腔室间压力差,利用时间序列分析预测压力梯度变化趋势,动态分配各腔室抽气速率。本发明能够有效解决现有串联式多腔室真空炉中,传统抽气系统难以适应各腔室不同工艺阶段对真空度和气体流量的动态要求,压力梯度和气体流动特性调控不佳,导致工艺稳定性、效率和产品质量受影响的技术问题。
本发明授权一种真空炉炉膛结构及仿真优化方法在权利要求书中公布了:1.一种真空炉炉膛结构仿真优化方法,其特征在于,包括: S101:实时获取真空炉各腔室在不同工艺阶段的压力梯度分布数据; S102:根据所述压力梯度分布数据及压力梯度分布数据变化趋势,判断各腔室是否满足对应工艺阶段的真空度需求,并生成表征偏差的偏差值序列; S103:基于所述偏差值序列,确定各腔室的气体抽取速率调整需求,并采用PID控制算法计算每个腔室所需的抽气速率调节量,得到目标抽气速率; S104:根据所述目标抽气速率,调整独立抽气系统的阀门开度以控制气体流量,获取各腔室的实时真空度水平; S105:获取所述实时真空度水平与预设工艺需求的偏差,基于偏差判断气体流动特性是否满足传热传质均匀性要求,得到流动特性偏差数据; S106:根据所述流动特性偏差数据,采用模糊控制算法动态优化各腔室间的压力差,通过调整抽气速率获得稳定的真空环境参数; S107:从所述稳定的真空环境参数中提取实时工艺监测数据,采用时间序列分析算法预测未来压力梯度变化趋势,生成下一阶段的抽气控制指令; S108:根据所述抽气控制指令,更新独立抽气系统的运行参数,动态分配各腔室的抽气速率,以实现优化的真空环境稳定性。
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