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龙图腾网获悉江苏道达智能科技有限公司申请的专利一种缺陷源头分析的offset自动校准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120997214B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511516356.5，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种缺陷源头分析的offset自动校准方法是由胡志宏;辛琳;李好设计研发完成，并于2025-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种缺陷源头分析的offset自动校准方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种缺陷源头分析的offset自动校准方法，涉及晶圆检测与缺陷源头分析技术领域，包括根据晶圆检测图像中芯片单元的理论坐标矩阵和实际坐标矩阵，确定晶圆几何中心位置，提取候选芯片单元；计算候选芯片单元的综合稳定性评分，筛选出最优参考芯片单元，计算最优参考芯片单元在实际坐标矩阵和理论坐标矩阵中的坐标偏差值；通过对称性约束条件对坐标偏差值进行加权平均，得到局部校准偏移量，扩展为全局offset校准参数；将全局offset校准参数应用于AOI检测过程中缺陷定位计算，并通过检测结果与预设验证芯片单元的对比分析校准精度，完成offset自动校准。本发明提升缺陷定位的一致性和复现精度。

本发明授权一种缺陷源头分析的offset自动校准方法在权利要求书中公布了：1.一种缺陷源头分析的offset自动校准方法，其特征在于：包括， 根据晶圆检测图像中芯片单元的理论坐标矩阵和实际坐标矩阵，确定晶圆几何中心位置，提取多个候选芯片单元； 计算所述候选芯片单元的综合稳定性评分，筛选出最优参考芯片单元，并计算所述最优参考芯片单元在所述实际坐标矩阵和所述理论坐标矩阵中的坐标偏差值； 通过对称性约束条件对所述坐标偏差值进行加权平均，得到局部校准偏移量，并将所述局部校准偏移量扩展为全局offset校准参数； 将所述全局offset校准参数应用于AOI检测过程中缺陷定位计算，并通过检测结果与预设验证芯片单元的对比分析校准精度，完成offset自动校准； 所述综合稳定性评分的获取方法为， 采用卷积神经网络对图像特征向量进行特征提取，通过多尺度卷积核捕获局部纹理特征与全局结构特征，将提取的特征输入特征融合层进行加权融合，生成稳定性评估特征； 基于所述稳定性评估特征，构建图像质量评估模型，计算各候选芯片单元的基础稳定性评分； 从候选芯片单元数据库中提取各候选芯片单元的空间位置编码，计算各候选芯片单元相对于晶圆几何中心位置的空间分布权重； 将所述基础稳定性评分与所述空间分布权重进行加权乘积运算，得到各候选芯片单元的综合稳定性评分； 所述图像特征向量的获取方法， 以晶圆几何中心位置为圆心，设定半径构建候选区域圆，筛选实际坐标矩阵中位于所述候选区域圆内的所有芯片单元，并将筛选出的芯片单元标记为初始候选芯片单元集合； 在所述候选区域圆内建立极坐标网格，将所述候选区域圆按角度均分为个扇区、按半径方向均分为个环带； 统计所述初始候选芯片单元集合中各候选芯片单元所属的扇区-环带网格单元，在每个网格单元内选取距离网格中心最近的芯片单元作为代表芯片单元，构成候选芯片单元集合； 基于所述候选芯片单元集合，计算候选芯片单元的实际中心坐标相对于所述晶圆几何中心位置的径向距离和角度位置，分配空间位置编码； 从晶圆检测图像中裁剪出各候选芯片单元对应的图像子区域，进行灰度归一化处理； 基于处理后的图像子区域，计算灰度标准差、边缘梯度强度和纹理复杂度，形成候选芯片单元的图像特征向量。

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