中北大学周彦汝获国家专利权
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龙图腾网获悉中北大学申请的专利基于外差干涉结构的大量程光学加速度传感器及测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120992987B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511510005.3,技术领域涉及:G01P15/03;该发明授权基于外差干涉结构的大量程光学加速度传感器及测量方法是由周彦汝;刘静;刘文耀;邢恩博;唐军;刘俊设计研发完成,并于2025-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于外差干涉结构的大量程光学加速度传感器及测量方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光学加速度传感器技术领域,具体是一种基于外差干涉结构的大量程光学加速度传感器及测量方法,该传感器包括窄线宽激光器、隔离器、1×2耦合器、第一声光调制器、第二声光调制器、第一1×3耦合器、第二1×3耦合器、第一环形器、第二环形器、第三环形器、第一光纤、第二光纤、第三光纤、敏感单元、第一2×1耦合器、第二2×1耦合器、第三2×1耦合器、第一光电探测器、第二光电探测器、第三光电探测器、PC机;所述敏感单元包括基座、第一测量镜、第二测量镜、参考镜;第一测量镜的背面、第二测量镜的背面、参考镜的背面均与基座固定。本发明解决了现有光学加速度传感器无法针对较大的加速度实现大量程测量的问题,适用于工业自动化、智能监测等领域。
本发明授权基于外差干涉结构的大量程光学加速度传感器及测量方法在权利要求书中公布了:1.一种基于外差干涉结构的大量程光学加速度传感器,其特征在于:包括窄线宽激光器1、隔离器2、1×2耦合器3、第一声光调制器4a、第二声光调制器4b、第一1×3耦合器5a、第二1×3耦合器5b、第一环形器6a、第二环形器6b、第三环形器6c、第一光纤7a、第二光纤7b、第三光纤7c、敏感单元、第一2×1耦合器10a、第二2×1耦合器10b、第三2×1耦合器10c、第一光电探测器11a、第二光电探测器11b、第三光电探测器11c、PC机12; 所述敏感单元包括基座、第一测量镜9a、第二测量镜9b、参考镜9c; 所述基座包括两根相互平行且正对的短弹性梁8a、两根相互平行且正对的长弹性梁8b; 两根短弹性梁8a的首端内侧面之间固定有第一质量块8c;两根短弹性梁8a的尾端内侧面之间固定有第一连接块8e;两根长弹性梁8b的尾端与两根短弹性梁8a的尾端齐平;两根长弹性梁8b的首端超出两根短弹性梁8a的首端;两根长弹性梁8b的首端内侧面之间固定有第二质量块8d;两根长弹性梁8b的尾端内侧面之间固定有第二连接块8f;第二根短弹性梁8a的尾端外侧面和第一根长弹性梁8b的尾端外侧面之间固定有第三连接块8g; 第一测量镜9a的背面与第一根短弹性梁8a的首端外侧面固定;第二测量镜9b的背面与第一根长弹性梁8b的首端外侧面固定;参考镜9c的背面与第一根短弹性梁8a的尾端外侧面固定; 窄线宽激光器1的出射端通过隔离器2与1×2耦合器3的入射端连接;1×2耦合器3的两个出射端分别与第一声光调制器4a的入射端、第二声光调制器4b的入射端连接;第一声光调制器4a的出射端与第一1×3耦合器5a的入射端连接;第二声光调制器4b的出射端与第二1×3耦合器5b的入射端连接; 第一1×3耦合器5a的三个出射端分别与第一环形器6a的第一端口、第二环形器6b的第一端口、第三环形器6c的第一端口连接; 第一环形器6a的第二端口与第一光纤7a的首端连接;第一光纤7a的尾端端面与第一测量镜9a的正面相对;第一环形器6a的第三端口与第一2×1耦合器10a的第一个入射端连接;第二环形器6b的第二端口与第二光纤7b的首端连接;第二光纤7b的尾端端面与第二测量镜9b的正面相对;第二环形器6b的第三端口与第二2×1耦合器10b的第一个入射端连接;第三环形器6c的第二端口与第三光纤7c的首端连接;第三光纤7c的尾端端面与参考镜9c的正面相对;第三环形器6c的第三端口与第三2×1耦合器10c的第一个入射端连接; 第二1×3耦合器5b的三个出射端分别与第一2×1耦合器10a的第二个入射端、第二2×1耦合器10b的第二个入射端、第三2×1耦合器10c的第二个入射端连接; 第一2×1耦合器10a的出射端与第一光电探测器11a的入射端连接;第二2×1耦合器10b的出射端与第二光电探测器11b的入射端连接;第三2×1耦合器10c的出射端与第三光电探测器11c的入射端连接;第一光电探测器11a的信号输出端、第二光电探测器11b的信号输出端、第三光电探测器11c的信号输出端均与PC机12的信号输入端连接。
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