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龙图腾网获悉常州灵动芯光科技有限公司申请的专利一种基于纳米压印技术的光波导形貌测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120991766B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511500232.8，技术领域涉及：G01B15/04；该发明授权一种基于纳米压印技术的光波导形貌测量方法是由陈莲薏;王晖;汤黎伟;李良波设计研发完成，并于2025-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于纳米压印技术的光波导形貌测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于纳米压印技术的光波导形貌测量方法，包括以下步骤：获取一聚合物，并将聚合物置于一待表征光波导上，对聚合物和待表征光波导加热且加压，使得待表征光波导的待表征形貌图案压印至聚合物的聚合物表征面上；基于扫描电子显微镜识别聚合物表征面的第一形貌，并计算得到第一形貌的空间频率强度；拍摄聚合物表征面上的光子器件图案并存储，并分析光子器件图案形成待表征光波导上所集成的光学器件的第二形貌。采用上述方案后，不会在光波导等器件上引入喷金及刻蚀等步骤，同时也不会破坏晶圆的整体结构。

本发明授权一种基于纳米压印技术的光波导形貌测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于纳米压印技术的光波导形貌测量方法，其特征在于，包括以下步骤： 获取一聚合物，并将所述聚合物置于一待表征光波导上，对所述聚合物和待表征光波导加热且加压，使得所述待表征光波导的待表征形貌图案压印至所述聚合物的聚合物表征面上； 基于扫描电子显微镜识别所述聚合物表征面的第一形貌，并计算得到所述第一形貌的空间频率强度； 拍摄所述聚合物表征面上的光子器件图案并存储，并分析所述光子器件图案形成所述待表征光波导上所集成的光学器件的第二形貌； 其中基于扫描电子显微镜识别所述聚合物表征面的第一形貌，并计算得到所述第一形貌的空间频率强度的步骤包括： 对所述聚合物表征面喷金，使得所述聚合物表征面具有导电性； 对聚合物表征面上的待表征形貌图案进行自上而下的拍摄并存储形成形貌照片，并将所述形貌照片转化为灰度图； 提取所述形貌照片中集成有光子器件的边缘区域以得到第一形貌； 对所述第一形貌拟合后计算边缘差值得到集成有光子器件的边缘区域的空间域粗糙度函数，其中z为光波导方向的空间坐标轴，边缘差值为第一形貌中拟合直线与突出边缘的高度差； 对空间域粗糙度函数自相关后得到一自相关函数，并根据自相关函数定义得到：，其中为卷积运算符； 对自相关函数傅里叶变化得到边缘区域的空间域粗糙度的频域功率谱密度函数，其中所述频域功率谱密度函数表征所述第一形貌的空间频率强度，且对所述第一形貌拟合包括： 对所述边缘区域内的非边缘处取第一采样点、第二采样点、第三采样点和第四采样点； 分别以第一采样点、第二采样点、第三采样点和第四采样点为圆心向外扩张画圆，直至首次与边缘处相切，并记录相切点为第一切点、第二切点、第三切点和第四切点； 连接第一切点和第一采样点并延长，与另一边缘处交于第一交点； 连接第二切点和第二采样点并延长，与另一边缘处交于第二交点； 连接第三切点和第三采样点并延长，与另一边缘处交于第三交点； 连接第四切点和第四采样点并延长，与另一边缘处交于第四交点； 以第一交点、第二交点、第一切点、第二切点为顶点建立第一矩形，并取所述第一矩形的对角线交点为第一拟合点； 以第三交点、第四交点、第三切点、第四切点为顶点建立第二矩形，并取所述第二矩形的对角线交点为第二拟合点； 连接第一拟合点和第二拟合点，形成拟合直线，并将所述拟合直线作为形貌基准； 且拍摄所述聚合物表征面上的光子器件图案并存储，并分析所述光子器件图案形成所述待表征光波导上所集成的光学器件的第二形貌的步骤包括： 在所述聚合物表征面喷金，使得所述聚合物表征面具有导电性，以观测所述光子器件图案形成所述待表征光波导上所集成的光学器件的集成光子器件图案的形貌； 对所述聚合物表征面的集成光子器件图案进行自上而下的拍摄并储存照片，并将得到的集成光子器件形貌图片，并输入一分析模块； 在分析模块中分析集成光子器件图案的第二形貌。

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