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龙图腾网获悉谷微半导体科技(江苏)有限公司申请的专利一种晶圆电镀机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120967477B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511440381.X，技术领域涉及：C25D17/00；该发明授权一种晶圆电镀机是由涂辉;宋超设计研发完成，并于2025-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆电镀机在说明书摘要公布了：本发明属于晶圆电镀技术领域，且公开了一种晶圆电镀机，包括液压缸，还包括；安装于液压缸活动端的支架。本发明通过设置隔离组件和晶圆等结构的配合，当漂浮筒的底部触碰到电解池中的液面时，由于其内部为中空状，漂浮筒将漂浮在液面上，以平稳液面的翻涌，承载筒持续下降，漂浮筒根据引导槽的轨迹旋转，漂浮筒上的槽口旋转至隔离筒的底部后，漂浮筒将根据引导槽的轨迹逐渐顶撑密封杆，使其与波纹管顶部的连接部分不再密封，装置在整体的重量压迫在波纹管上，波纹管内的空气被挤压排出，从而使整体下降，通过排出气体的方式下降，将会减少机械摩擦而产生的震动，进而防止震动使液面出现波动，并干扰电镀效果。

本发明授权一种晶圆电镀机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆电镀机，包括液压缸1，其特征在于，还包括： 安装于液压缸1活动端的支架2； 设置于支架2底部的引导组件3和隔离组件8； 所述隔离组件8包括承载筒81，所述承载筒81的内部固定安装有波纹管85，所述支架2的底部贯穿承载筒81和波纹管85的顶部与波纹管85内部固定连接，所述波纹管85的内部环向等角活动贯穿有若干个密封杆87，所述密封杆87通过弹簧88与波纹管85弹性连接，所述波纹管85的内部顶撑有液压杆86，所述承载筒81的内部通过引导槽84活动安装有漂浮筒82，所述漂浮筒82的内部呈中空状； 套设于承载筒81外周的承载盘9； 环向等角度贯穿于承载盘9上的若干个隔离筒5； 环向等角度设置于隔离筒5内部的分流组件4； 放置于分流组件4上的若干个晶圆7； 所述引导组件3用于驱动分流组件4逐个下放各个晶圆7； 安装于隔离筒5下端的夹持组件6，所述夹持组件6用于放置晶圆7，所述夹持组件6包括通过环向等角度分布的若干个弹簧片二64弹性连接于隔离筒5外周的定位环61，所述定位环61的外周通过若干个环向等角度分布的引导杆62铰接有锁止杆63，所述锁止杆63安插于隔离筒5的内部，且与晶圆7的边缘契合。

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