苏州耀德半导体有限公司潘美玲获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州耀德半导体有限公司申请的专利基于自适应PID的半导体加热器温度控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120928886B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511464224.2，技术领域涉及：G05D23/30；该发明授权基于自适应PID的半导体加热器温度控制方法是由潘美玲;赖学明设计研发完成，并于2025-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于自适应PID的半导体加热器温度控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，公开了基于自适应PID的半导体加热器温度控制方法。该方法包括实时采集半导体加热器多监测点温度数据，构建温度场分布矩阵，以完整呈现加热器温度分布；再基于此矩阵生成设定温度轨迹，通过自适应PID控制器对加热功率实施闭环调节，使温度稳定贴合设定轨迹；闭环调节中，依据温度波动趋势动态重构PID参数模糊规则库，强化控制器自适应能力；当检测到温度异常区域，触发多层级补偿机制对控制器进行相位校正，快速处理异常。该方法可优化温度控制精准度与稳定性，应对温度波动及异常，契合半导体制造对温度控制的严苛需求。
本发明授权基于自适应PID的半导体加热器温度控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基于自适应PID的半导体加热器温度控制方法，其特征在于，包括： 实时采集半导体加热器多监测点的温度数据，构建温度场分布矩阵； 基于所述温度场分布矩阵生成设定温度轨迹，并利用自适应PID控制器对半导体加热器的加热功率进行闭环调节； 在闭环调节过程中，根据温度波动趋势动态重构PID参数模糊规则库； 当检测到温度异常区域时，触发多层级补偿机制对自适应PID控制器进行相位校正； 根据温度波动趋势动态重构PID参数模糊规则库，包括： 提取连续N个采样周期的温度波动频谱特征； 识别所述温度波动频谱特征中振幅超过阈值的频段作为主导扰动频段； 以抑制主导扰动频段为优化目标重构PID参数模糊规则隶属度函数； 触发多层级补偿机制对自适应PID控制器进行相位校正，包括： 根据温度异常区域的空间坐标定位最近补偿节点； 激活所述最近补偿节点的前馈补偿通道； 在所述前馈补偿通道中注入与主导扰动频段相位相反的校正信号。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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