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龙图腾网获悉苏州大学申请的专利一种干涉条纹生成元件、生成装置以及缺陷检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120871411B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511349715.2，技术领域涉及：G02B17/06；该发明授权一种干涉条纹生成元件、生成装置以及缺陷检测方法是由许峰;曹可;陆正阳;孙倜;曹冰设计研发完成，并于2025-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种干涉条纹生成元件、生成装置以及缺陷检测方法在说明书摘要公布了：本申请公开了结构光领域中的一种干涉条纹生成元件、生成装置以及缺陷检测方法，生成元件包括入射面，所述入射面两端分别垂直设置有第一反射面、出射面；第二反射面，所述第二反射面一端呈钝角连接所述第一反射面，另一端连接所述出射面；其中所述入射面、出射面的连接处和所述第一反射面、第二反射面的连接处之间倾斜设置有分束面；本申请中设计的生成元件代替传统结构光投影设备，其利用干涉条纹的高相干性和高稳定性，避免了传统投影系统对光栅和投影设备的依赖，并且条纹的间距和方向可以通过第一反射面、第二反射面的夹角变化实现调节，灵活性更强；同时利用单一元件生成干涉条纹，核心元件少，具有高稳定性和易维护性，价格也更为低廉。

本发明授权一种干涉条纹生成元件、生成装置以及缺陷检测方法在权利要求书中公布了：1.一种干涉条纹生成装置的缺陷检测方法，其特征在于，包括： 干涉条纹生成装置，其包括生成元件4、激光器1、空间滤波系统2以及扩束镜头3； 所述生成元件4包括 入射面41，所述入射面41两端分别垂直设置有第一反射面43、出射面45； 第二反射面44，所述第二反射面44一端呈钝角连接所述第一反射面43，另一端连接所述出射面45；其中所述入射面41、出射面45的连接处和所述第一反射面43、第二反射面44的连接处之间设置有分束面42 所述空间滤波系统2、所述扩束镜头3以及所述生成元件4顺序布置在所述激光器1发出光的路径上，且所述扩束镜头3透出的光垂直射向所述入射面41； 所述方法包括选择光源，所述光源进入所述生成元件4，经过所述生成元件4产生满足干涉条件的第一光束11和第二光束12，所述干涉条件包括第一光束11和第二光束12的路径差不大于光源的相干长度； 所述第一光束11和第二光束12形成过程包括： 所述光源进入所述生成元件4内经过所述分束面42反射，再由第一反射面43垂直反射，最后通过分束面42后形成所述第一光束11； 所述光源进入所述生成元件4内经过所述分束面42折射，在由所述第二反射面44反射，最后通过分束面42反射形成所述第二光束12； 所述第一光束11和第二光束12射出所述出射面45，形成重叠区域并得到干涉条纹； 将待测物放置在所述重叠区域进行缺陷测试，所述待测物为晶圆样品。

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