中国科学院西安光学精密机械研究所尹云飞获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院西安光学精密机械研究所申请的专利一种基于相位解耦和多重倍频的外差激光干涉测量装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120488962B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510680442.3,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权一种基于相位解耦和多重倍频的外差激光干涉测量装置是由尹云飞;李朝辉;刘勇;赵建科;马臻;尹沙沙;冯晨阳;董舰设计研发完成,并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于相位解耦和多重倍频的外差激光干涉测量装置在说明书摘要公布了:本申请提供了一种基于相位解耦和多重倍频的外差激光干涉测量装置,本方案通过利用相位解耦和多重倍频技术两个方面来提高测量精度,其中多重倍频提供多次往返测量状态下的多倍激光位移信息,相位解耦提供实时测量状态下的正向测量和反向测量,以削弱位移台的定位波动误差和环境扰动误差的影响;另外,在相位解耦状态下,测量精度由原来的6倍多普勒频移转变为12倍多普勒频移,进一步提高了测量精度。
本发明授权一种基于相位解耦和多重倍频的外差激光干涉测量装置在权利要求书中公布了:1.一种基于相位解耦和多重倍频的外差激光干涉测量装置,其特征在于,包括:双频激光器、分光棱镜、正向位移测量装置、位移测量基底、反向位移测量装置、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、数据采集模块、上位机,所述位移测量基底包括第一平面反射镜、线性位移平台、第二平面反射镜,所述线性位移平台设置于所述正向位移测量装置及所述反向位移测量装置的中间位置,所述第一平面反射镜及所述第二平面反射镜设置于所述线性位移平台的两侧,并随着所述线性位移平台同步移动,所述正向位移测量装置包括第一偏振分光棱镜、第一四分之一波片、第一直角反射棱镜、第二直角反射棱镜、第一斜面反射镜,所述反向位移测量装置包括第二斜面反射镜、第二偏振分光棱镜、第二四分之一波片、第三平面反射镜、第三四分之一波片、第三直角反射棱镜;其中, 所述双频激光器用于产生一束正交的线偏振光,所述线偏振光经过所述分光棱镜按照能量进行分光后分为反射光和透射光;所述反射光入射至所述第二光纤耦合器,所述透射光入射至所述正向位移测量装置中进行偏振分光,分为第一频率的P偏振光及第二频率的S偏振光; 所述P偏振光分别经过所述正向位移测量装置、所述位移测量基底处理后,入射至所述第一光纤耦合器; 所述S偏振光分别经过所述正向位移测量装置、所述位移测量基底、所述反向位移测量装置处理后,入射至所述第一光纤耦合器; 所述第一光纤耦合器及所述第二光纤耦合器传输干涉位移测量信号至所述数据采集模块,经过数据处理后传输至所述上位机,得到实时位移测量信息。
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