大连语传精密技术有限公司赵长森获国家专利权
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龙图腾网获悉大连语传精密技术有限公司申请的专利一种大口径多分区均匀冷却抛光装置及双面抛光设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120480795B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510819375.9,技术领域涉及:B24B37/08;该发明授权一种大口径多分区均匀冷却抛光装置及双面抛光设备是由赵长森;徐琳琳;赵恩鹤;赵恩浴设计研发完成,并于2025-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大口径多分区均匀冷却抛光装置及双面抛光设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种大口径多分区均匀冷却抛光装置及双面抛光设备,其中,抛光装置包括:旋转主轴组件,包含T形主轴和轴承组件,T形主轴通过轴承可旋转地支撑于基座,T形主轴内集成6组进水通道和回水通道;抛光盘组件,包含直径700‑2600mm的抛光盘,抛光盘采用背盘和工作盘组合的分体式结构,上表面安装有抛光垫,下表面与T形主轴固定连接;多分区冷却系统,包含6个冷却分区的迷宫式对流流道及与其配合的集成式分流水箱。本申请通过工作盘盘面薄壁化型腔结构和6组流体通道同步冷却循环能够加快温度调节热响应的同时减少盘面热变形,并通过迷宫式对流流道所包含的径向筋、蜿蜒筋及周向连接筋,实现冷却液逆向流动,均衡冷热梯度,进一步弱化盘面局部温差。
本发明授权一种大口径多分区均匀冷却抛光装置及双面抛光设备在权利要求书中公布了:1.一种大口径多分区均匀冷却抛光装置,其特征在于,包括: 旋转主轴组件,包含T形主轴和轴承组件,所述T形主轴通过轴承可旋转地支撑于基座; 抛光盘组件,包含直径700-2600mm的抛光盘,所述抛光盘上表面安装有抛光垫,下表面与所述T形主轴固定连接; 多分区冷却系统,包含: 设置于所述抛光盘内部的6个周向均布的独立冷却分区和每个分区内设置的迷宫式对流流道; 集成式分流水箱,固定于基座并套接于T形主轴,配置为向各分区的迷宫式对流流道提供冷却液循环通路; 流体通道系统,包含在T形主轴内周向间隔均布的6个主轴进水通道和6个主轴回水通道,用于与所述集成式分流水箱循环通路的对应通孔连通; 快速连接组件,配置为将流体通道系统与背盘组件的对应通孔可拆卸连接。
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