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龙图腾网获悉微梦回响(佛山市)科技有限公司申请的专利一种基于超临界协同ALD修复的陶瓷劈刀再生工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120425315B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510561021.9，技术领域涉及：C23C16/02；该发明授权一种基于超临界协同ALD修复的陶瓷劈刀再生工艺是由蒋庭荣;蒋辰洵;郑胜;唐才超;曹孝文设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于超临界协同ALD修复的陶瓷劈刀再生工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及陶瓷劈刀再生技术领域，具体为一种基于超临界协同ALD修复的陶瓷劈刀再生工艺。本发明克服现有技术中再生陶瓷劈刀耐磨性不足和剪切力保留率低的问题。本发明首先依次采用丙酮、异丙醇和去离子水进行超声预清洗；再利用超临界二氧化碳流体协同全氟聚醚进行深度清洗；其次通过等离子体刻蚀，利用氩气与氢气混合气体活化劈刀表面；再通过原子层沉积技术，先沉积氧化铝过渡层，再通过沉积得到氮化钛功能层；最后对沉积后的劈刀进行多段梯度升温，真空退火处理得到再生陶瓷劈刀。本发明通过工艺间的协同作用，实现了修复层的高附着力，提高再生陶瓷劈刀的耐磨性和剪切力保留率，显著提高了陶瓷劈刀的再生质量和使用寿命。

本发明授权一种基于超临界协同ALD修复的陶瓷劈刀再生工艺在权利要求书中公布了：1.一种基于超临界协同ALD修复的陶瓷劈刀再生工艺，其特征在于：所述再生工艺包括以下步骤： S1将回收陶瓷劈刀分别加入丙酮、异丙醇和去离子水进行超声清洗，真空干燥得到预处理劈刀； S2将所述预处理劈刀通过超临界流体深度清洗得到清洗处理劈刀； S3将所述清洗处理劈刀通过等离子体刻蚀，通过氩气与氢气混合氛围刻蚀得到刻蚀劈刀； 其中，所述氩气与所述氢气的体积比为6-10:1； S4将所述刻蚀劈刀通过三甲基铝和氧气等离子体原子沉积得到沉积预处理劈刀；再通过四二甲氨基钛和氨气等离子体原子沉积得到沉积处理劈刀； 将所述沉积预处理劈刀通过原子层沉积设备进行原子沉积处理，以四二甲氨基钛和氨气等离子体作为前驱体，在300-350℃的温度下进行沉积，每个原子沉积循环包括四二甲氨基钛脉冲、氮气吹扫、氨气等离子体脉冲和氮气吹扫四个步骤，其中所述四二甲氨基钛脉冲的时间为1-3s；所述氮气吹扫的时间为20s；所述氨气等离子体脉冲的时间为5-10s，等离子体功率300-500W；氮气吹扫时间为20s；通过控制循环次数，得到所述沉积处理劈刀； 其中所述沉积处理劈刀的氮化钛层厚度为3-5nm； 将所述刻蚀劈刀使用原子层沉积设备进行原子沉积处理，以三甲基铝和氧气等离子体为前驱体，在250-300℃的温度下进行沉积，每个原子沉积循环包括三甲基铝脉冲、氮气吹扫、氧气等离子体脉冲和氮气吹扫四个步骤，其中所述三甲基铝脉冲的时间为0.2s；所述氮气吹扫的时间为20s；所述氧气等离子体脉冲的时间为5s，等离子体功率150-300W；所述氮气吹扫的时间为10s；通过控制循环次数，得到所述沉积预处理劈刀； 其中，所述沉积预处理劈刀的氧化铝层厚度为1-3nm； S5将所述沉积处理劈刀通过真空梯度升温，降温冷却得到再生陶瓷劈刀； 将所述沉积处理劈刀采用真空退火炉，通过梯度升温，保持真空环境，第一段从室温升至250℃，升温速率为5-10℃min，保温处理1h；第二段从250℃升至300℃，升温速率为3-5℃min，保温时间为1-3h；第三段温度从300-350℃，升温速率为2-3℃min，保温处理1h，再以5-10℃min的降温速率，冷却至室温得到所述再生陶瓷劈刀； 其中，所述超临界流体为超临界二氧化碳与全氟聚醚混合得到。

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