南通金源智能技术有限公司姜勇获国家专利权
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龙图腾网获悉南通金源智能技术有限公司申请的专利一种感应耦合型等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120033054B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510177796.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种感应耦合型等离子体处理装置是由姜勇;尚福军;胡玉设计研发完成，并于2025-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种感应耦合型等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种感应耦合型等离子体处理装置，涉及半导体加工技术领域；该感应耦合型等离子体处理装置包括处理机体、基座和喷淋机构，所述喷淋机构包括输气管、若干支管与若干喷淋头，所述输气管上还设置有分散机构，所述分散机构包括分散箱与调和组件，所述分散箱内开设有若干分散腔，所述分散腔与所述支管相对应，所述输气管的一端与每一分散腔均相连通，每一所述分散腔均与对应支管的一端连通，每一所述分散腔内均设置有调和组件，每一所述调和组件均用于将对应分散腔内的气体，通入至另一相邻且气压小于对应所述分散腔的分散腔内。本申请具有降低各喷淋头之间流量发生差异过大的几率的效果。
本发明授权一种感应耦合型等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种感应耦合型等离子体处理装置，包括处理机体1、基座2和喷淋机构3，所述喷淋机构3包括输气管31、若干支管32与若干喷淋头33，其特征在于：所述输气管31上还设置有分散机构4，所述分散机构4包括分散箱41与调和组件42，所述分散箱41内开设有若干分散腔5，所述分散腔5与所述支管32相对应，所述输气管31的一端与每一分散腔5均相连通，每一所述分散腔5均与对应支管32的一端连通，每两个相邻所述分散腔5之间的内侧壁上均贯穿开设有调和槽6，每一所述调和槽6内均设置有调和组件42，每一所述调和组件42均用于将对应分散腔5内的气体，通入至另一相邻且气压小于对应所述分散腔5的分散腔5内。
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