北京北方华创微电子装备有限公司卢振新获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利限位结构、晶圆干燥装置及晶圆干燥方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119890125B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311386170.3，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权限位结构、晶圆干燥装置及晶圆干燥方法是由卢振新;赵宏宇;张呈彬;高少飞设计研发完成，并于2023-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本限位结构、晶圆干燥装置及晶圆干燥方法在说明书摘要公布了：本申请提出一种限位结构、晶圆干燥装置及晶圆干燥方法。限位结构包括支架、第一卡齿组、第二卡齿组和第一驱动组件；支架包括主梁及分别连接于主梁两端的第一支撑梁和第二支撑梁；第一卡齿组和第二卡齿组设于主梁的相对两侧；第一驱动组件与第一支撑梁和或第二支撑梁连接，用于通过第一支撑梁和或第二支撑梁驱动主梁进行旋转运动，并且当主梁旋转至第一目标位置时，第一卡齿组约束定位并排的多个晶圆的顶部，当主梁旋转至第二目标位置时，第二卡齿组约束定位并排的多个晶圆的侧部。本申请可以在清洗干燥过程中避免多个晶圆叠片以及由此导致的晶圆损伤问题，并确保产能。
本发明授权限位结构、晶圆干燥装置及晶圆干燥方法在权利要求书中公布了：1.一种限位结构，用于对并排的多个晶圆进行限位，其特征在于，所述限位结构包括： 支架，包括主梁及分别连接于所述主梁两端的第一支撑梁和第二支撑梁； 第一卡齿组和第二卡齿组，设于所述主梁的相对两侧； 第一驱动组件，所述第一支撑梁和或所述第二支撑梁与所述第一驱动组件轴连接，所述第一驱动组件用于驱动所述第一支撑梁和或所述第二支撑梁围绕所述轴连接的轴方向进行旋转，以带动所述主梁进行旋转运动，并且当所述主梁旋转至第一目标位置时，所述并排的多个晶圆被移动至所述第一卡齿组的下方，所述第一卡齿组约束定位所述并排的多个晶圆的顶部，当所述主梁旋转至第二目标位置时，所述并排的多个晶圆被移动至所述第二卡齿组的侧方，所述第二卡齿组约束定位所述并排的多个晶圆的侧部。
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